[发明专利]光刻胶涂布装置

权利要求书

1.一种光刻胶涂布装置，包括光刻胶涂布装置本体，其特征在于，所述光刻胶涂布装置本体的喷嘴的外部罩设有用于将所述喷嘴与基板上的杂质隔离开的保护模块。

2.根据权利要求1所述的光刻胶涂布装置，其特征在于，所述喷嘴包括沿所述喷嘴运动方向相对设置的第一表面，所述保护模块包括两个第一保护单元，所述两个第一保护单元通过固定装置固定在所述第一表面上，并形成狭缝。

3.根据权利要求2所述的光刻胶涂布装置，其特征在于，所述固定装置为螺钉，所述第一保护单元上设有矩形通孔，所述螺钉穿过所述矩形通孔将所述第一保护单元可调地固定在所述第一表面上，以形成可调节大小的狭缝。

4.根据权利要求3所述的光刻胶涂布装置，其特征在于，所述喷嘴还包括沿与所述喷嘴运动方向相垂直的方向相对设置的端面，所述保护模块还包括两个第二保护单元，所述两个第二保护单元上设有矩形通孔，螺钉穿过所述第二保护单元上的矩形通孔将所述第二保护单元可调地固定在所述端面上，并与所述两个第一保护单元对合，形成可调节大小的狭缝。

5.根据权利要求1所述的光刻胶涂布装置，其特征在于，所述保护模块为一体结构，且所述保护模块沿竖直穿过喷嘴的直线方向呈镜面对称结构，所述保护模块与所述基板正对的端部为平面结构，且所述端部上设有至少一排孔隙或缝隙。

6.根据权利要求5所述的光刻胶涂布装置，其特征在于，所述喷嘴包括沿所述喷嘴运动方向相对设置的第一表面，所述保护模块包括罩设在所述喷嘴的第一表面外部的第一部件。

7.根据权利要求6所述的光刻胶涂布装置，其特征在于，所述喷嘴还包括与所述第一表面连接的第二表面，所述保护模块还包括罩设在所述第二表面外部的第二部件，且所述第二部件与所述第一部件连接。

8.根据权利要求7所述的光刻胶涂布装置，其特征在于，所述喷嘴还包括与所述第二表面连接的第三表面，所述保护模块还包括罩设在所述第三表面外部的第三部件，且所述第三部件与所述第二部件连接。

9.根据权利要求1所述的光刻胶涂布装置，其特征在于，所述喷嘴包括沿所述喷嘴运动方向相对设置的第一表面，所述保护模块为一体结构，所述保护模块设置在所述第一表面中沿移动方向靠前的一侧的表面上，且所述保护模块与所述基板之间的距离小于等于所述喷嘴与所述基板之间的距离。

10.根据权利要求1所述的光刻胶涂布装置，其特征在于，所述喷嘴包括沿所述喷嘴运动方向相对设置的第一表面，所述保护模块为一体结构，所述保护模块设置在所述第一表面上，且所述保护模块与所述基板之间的距离小于等于所述喷嘴与所述基板之间的距离。

11.根据权利要求1～10中任一权利要求所述的光刻胶涂布装置，其特征在于，所述保护模块采用碳素钢材料。