[发明专利]光刻胶涂布装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种光刻胶涂布装置，属于液晶显示器制造技术领域。

背景技术

在半导体器件和平板显示面板制造的光刻工艺中，电路图形需要在基板表面涂布光刻胶之后，通过曝光和显影得到。现有技术在基板表面涂布光刻胶的方法可以是：将基板平放在涂布台面上，在保证狭缝喷嘴和基板之间精确的间隙基础之上，狭缝喷嘴利用均速泵产生的均匀压力，将光刻胶涂布在基板上，然后通过旋转单元使光刻胶在基板上涂布均匀。以液晶面板制造工艺为例，在光刻工艺中，光刻胶涂布时，首先将玻璃基板平放在平整的台面之上，然后狭缝喷嘴在固定支架的水平移动的同时，狭缝喷嘴利用均速泵将光刻胶均匀的涂布在基板上。在涂布过程中，必须保证狭缝喷嘴和玻璃基板之间保持合适的间隙，从而保证光刻胶的均匀涂布。一般来说，该间隙设置为0.1～0.3mm，对于不同厚度的玻璃基板间隙会有所调整。

但是，由于狭缝喷嘴与玻璃之间间隙仅为0.1～0.3mm，因此现有的光刻胶涂布装置在涂布的过程中，经常会因玻璃表面存在异物而损坏狭缝喷嘴，而由于狭缝喷嘴的维修和购买成本非常昂贵，致使生产成本显著提高。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种光刻胶涂布装置，以解决现有技术中喷嘴容易被损坏，导致生产成本提高的技术问题，实现保护喷嘴不被基板上的杂质损坏，降低生产成本的技术效果。

为实现上述目的，本发明提供了一种光刻胶涂布装置，包括光刻胶涂布装置本体，述光刻胶涂布装置本体的喷嘴的外部罩设有用于将所述喷嘴与基板上的杂质隔离开的保护模块。

所述喷嘴包括沿所述喷嘴运动方向相对设置的第一表面，所述保护模块包括两个第一保护单元，所述两个第一保护单元通过固定装置固定在所述第一表面上，并形成狭缝。

所述固定装置为螺钉，所述第一保护单元上设有矩形通孔，所述螺钉穿过所述矩形通孔将所述第一保护单元可调地固定在所述第一表面上，以形成可调节大小的狭缝。

所述喷嘴还包括沿与所述喷嘴运动方向相垂直的方向相对设置的端面，所述保护模块还包括两个第二保护单元，所述两个第二保护单元上设有矩形通孔，螺钉穿过所述第二保护单元上的矩形通孔将所述第二保护单元可调地固定在所述端面上，并与所述两个第一保护单元对合，形成可调节大小的狭缝。

所述保护模块为一体结构，且所述保护模块沿竖直穿过喷嘴的直线方向呈镜面对称结构，所述保护模块与所述基板正对的端部为平面结构，且所述端部上设有至少一排孔隙或缝隙。

所述喷嘴包括沿所述喷嘴运动方向相对设置的第一表面，所述保护模块包括罩设在所述喷嘴的第一表面外部的第一部件。

所述喷嘴还包括与所述第一表面连接的第二表面，所述保护模块还包括罩设在所述第二表面外部的第二部件，且所述第二部件与所述第一部件连接。

所述喷嘴还包括与所述第二表面连接的第三表面，所述保护模块还包括罩设在所述第三表面外部的第三部件，且所述第三部件与所述第二部件连接。

所述保护模块为一体结构，所述保护模块设置在所述喷嘴上沿移动方向靠前的一侧，且所述保护模块与所述基板之间的距离小于等于所述喷嘴与所述基板之间的距离。

所述保护模块为一体结构，所述保护模块设置在所述喷嘴上沿移动方向的两侧，且所述保护模块与所述基板之间的距离小于等于所述喷嘴与所述基板之间的距离。

所述保护模块采用碳素钢材料。

本发明光刻胶涂布装置以现有的光刻胶涂布装置本体为基础，在光刻胶涂布装置本体上的喷嘴的外部固定保护模块，通过该保护模块将喷嘴与基板上的杂质隔离开，从而防止喷嘴通过该保护模块在基板表面运动涂布光刻胶的时候被基板上的杂质损坏，降低了生产成本。

下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1为本发明光刻胶涂布装置第一实施例的结构示意图；

图2为本发明光刻胶涂布装置第一实施例中第一保护单元的结构示意图；

图3为本发明光刻胶涂布装置第一实施例的局部结构示意图；

图4为本发明光刻胶涂布装置第二实施例中第二保护单元的结构示意图；

图5为本发明光刻胶涂布装置第三实施例的结构示意图；

图6为本发明光刻胶涂布装置第三实施例的局部结构示意图；

图7为本发明光刻胶涂布装置第三实施例中保护模块端部的局部结构示意图；

图8为本发明光刻胶涂布装置第三实施例中保护模块端部的另一局部结构示意图；

图9为本发明光刻胶涂布装置第三实施例中保护模块端部的再一局部结构示意图；