[发明专利]一种基于法-珀腔阵列式微型光谱仪无效
| 申请号： | 200910095484.1 | 申请日： | 2009-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN101476936A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 胡松;高秀敏 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01J3/26 | 分类号： | G01J3/26;G01J3/28;G01N21/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 杜 军 |
| 地址： | 310018浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 阵列 式微 光谱仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于法-珀腔阵列式微型光谱仪，包括阵列排列的多个不同厚度的电光材料板，其特征在于：每个电光材料板的上表面镀有上层反射膜，下表面镀有下层反射膜，每个电光材料板以及对应的上层反射膜和下层反射膜构成法-珀腔单元，所有法-珀腔单元构成法-珀腔阵列；每个法-珀腔单元中上层反射膜的上表面镀有增透膜，每个法-珀腔单元中下层反射膜的下表面与探测器紧密连接；每个法-珀腔单元中上层反射膜与对应的电压源的正极连接，下层反射膜与对应的电压源的负极连接；透镜设置在法-珀腔阵列的正上方，透镜的直径大于法-珀腔阵列的最大径，透镜增透膜镀在透镜的上表面，光源设置在透镜的上方焦点处。
2.如权利要求1所述的一种基于法-珀腔阵列式微型光谱仪，其特征在于：所述的上层反射膜和下层反射膜的材料为铝或金。
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