[发明专利]一种生长炉内晶体退火装置无效
| 申请号： | 200910111250.1 | 申请日： | 2009-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN101831712A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 吴少凡;林文雄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350002 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 生长 晶体 退火 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种生长炉内晶体退火装置，其特征在于：通过测量2个双铂铑热电偶温度，调节缠绕在内外层保温罩上的热铬铝高温加热丝的加热功率，提供一个加热源，在上保温罩内部形成一个温度梯度相对小的退火空间，使得晶体头部和尾部的温度梯度较小，从而起到了降低晶体内部热应力的效果。
2.根据权利要求1所述的一种生长炉内晶体退火装置，其特征在于：保温罩材料可以为氧化铝。
3.根据权利要求1所述的一种生长炉内晶体退火装置，其特征在于：该装置可以用于掺钕钇铝石榴石、掺铈硅酸钇镥晶体生长。
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