[发明专利]太阳能级多晶硅提纯装置与提纯方法无效

专利信息
申请号: 200910112690.9 申请日: 2009-10-22
公开(公告)号: CN101698481A 公开(公告)日: 2010-04-28
发明(设计)人: 罗学涛;郑淞生;李锦堂;蔡靖;陈文辉;龚惟阳;沈晓杰;陈朝 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037;C30B29/06
代理公司: 厦门南强之路专利事务所 35200 代理人: 马应森
地址: 361005 *** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 太阳 能级 多晶 提纯 装置 方法
【权利要求书】:

1.太阳能级多晶硅提纯装置,其特征在于设有主体保温层、感应加热线圈、石墨加热套筒、石墨固定盘、下层保温层、定向升降装置、循环水进水口、循环水出水口、石墨底盘、坩埚、SiN涂层和热电偶测温装置,感应加热线圈设于主体保温层的外侧,石墨固定盘设于主体保温层的内腔底部,石墨加热套筒设于石墨固定盘上,下层保温层设于主体保温层的下方并与主体保温层连成一体,定向升降装置设于下层保温层内腔,定向升降装置内设有循环水进水口和循环水出水口,石墨底盘设于石墨加热套筒和石墨固定盘的底部,坩埚设于石墨加热套筒内,坩埚内壁涂有SiN涂层,热电偶测温装置设于坩埚内。

2.如权利要求1所述的太阳能级多晶硅提纯装置,其特征在于还设有铜电解回收装置,所述铜电解回收装置设有整流器、电解槽、低位集液槽、耐酸泵、高位槽和加温槽,电解槽内的阳极和阴极接整流器输出端,电解槽分别与低位集液槽和加温槽连接,低位集液槽经耐酸泵与高位槽连接,高位槽与加温槽连接。

3.太阳能级多晶硅的提纯方法,其特征在于采用如权利要求1所述太阳能级多晶硅提纯装置,包括以下步骤:

1)将多晶硅和工业铜料放入坩埚中,接通加热电源,使坩埚内的铜和多晶硅融化;

2)当坩埚内的多晶硅全部融化后形成硅铜合金熔体,采用热电偶测温装置测定坩埚内部竖直方向上各点的温度,调节感应加热功率控制器,使坩埚内的合金熔体保持一个稳定的温度梯度,从坩埚中部到坩埚底部,温度从高到低;

3)启动定向升降装置,带动装着合金熔体的坩埚连同石墨底盘一起下拉产生定向凝固;

4)当坩埚中的合金熔体全部凝固后,切断加热电源,待炉子冷却到室温后,取出合金硅锭,切除上部20%~50%,剩余部分即为太阳能级多晶硅。

4.如权利要求3所述的太阳能级多晶硅的提纯方法,其特征在于在步骤1)中,按质量百分比,工业铜料的加入量为10%~30%,余为多晶硅。

5.如权利要求4所述的太阳能级多晶硅的提纯方法,其特征在于工业铜料的加入量为10%~15%,余为多晶硅。

6.如权利要求3所述的太阳能级多晶硅的提纯方法,其特征在于在步骤1)中,所述多晶硅为块状多晶硅或/和粉状多晶硅。

7.如权利要求3所述的太阳能级多晶硅的提纯方法,其特征在于在步骤1)中,所述加热电源的功率为100~200kW。

8.如权利要求3所述的太阳能级多晶硅的提纯方法,其特征在于在步骤2)中,所述温度的上限为1450~1600℃,温度的下限为1300~1414℃,所述温度梯度为10~15℃/cm。

9.如权利要求8所述的太阳能级多晶硅的提纯方法,其特征在于所述温度的上限为1500~1550℃,温度的下限为1350~1414℃。

10.如权利要求3所述的太阳能级多晶硅的提纯方法,其特征在于在步骤3)中,所述下拉的速度为5~30mm/h。

11.如权利要求10所述的太阳能级多晶硅的提纯方法,其特征在于所述下拉的速度为10~20mm/h。

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