[发明专利]曝光装置及曝光方法

权利要求书

1.一种曝光装置，该曝光装置将具有规定宽度的胶卷形状的被曝光 体送至曝光台上，并将掩膜的电路图案曝光在被曝光体上，其特征在于， 具有：

按压所述被曝光体的压板；

用于观察形成在所述被曝光体上的第1校准识别标记和形成在所述 掩膜上的第2校准识别标记的图像识别部；

使所述压板和所述图像识别部同时向所述被曝光体的规定宽度方向 移动的第1移动部。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

所述压板按压所述被曝光体，按压至所述规定宽度方向上的比所述 第1校准识别标记更靠内侧的位置，并且所述压板具有观察所述第1校 准识别标记和所述第2校准识别标记的观察窗。

3.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

所述压板仅按压所述规定宽度方向上的比所述第1校准识别标记更 靠外侧的位置。

4.根据权利要求1～3所述的曝光装置，其特征在于，

所述第1移动部具有第2移动部，所述第2移动部使所述压板沿着 与所述被曝光体交叉的方向移动，以使所述压板接触到所述被曝光体。

5.根据权利要求1至3的任意一项所述的曝光装置，其特征在于，

所述第1移动部使所述压板和所述图像识别部以所述被曝光体的传 送方向为轴进行旋转。

6.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

至少设置2个所述图像识别部。