[发明专利]曝光装置及曝光方法

说明书

技术领域

本发明涉及从供给侧向曝光部传送胶卷形状的带子，并将在该曝光 部进行曝光的带子传送至卷绕侧的曝光装置及曝光方法。

背景技术

通常，由于移动电话、移动办公机器等的各种小型机器的机体轻薄 短小，因此用于小型机器的电路基板(印制电路板)的电路基材使用薄 而高精度的胶卷形状带子(以下，称为“带子”)。

这种带子的材料，逐渐倾向于厚度为0.1mm左右至0.06mm的薄型 化。再有，最近使用厚度在0.05mm以下、宽度为100～250mm、长度为 700m的薄而宽的带状且非常长的带子。由于是长带子因此通常卷绕成卷 筒状而使用。

在这种卷筒状的带子上制造电路基板时，会出现如下情况：卷筒状 的带子被逐片送向曝光部的途中变得松弛，或者在带状工件W的孔眼附 近的带子上产生褶皱。由于带子上出现褶皱，因此即使在这种状态下真 空吸附带子，带子也不能吸附在台座表面上。作为消除该问题点的曝光 装置存在专利文献1中公开的技术。

在专利文献1中公开的薄膜曝光装置为了可靠地进行真空吸附，设 置有带子按压机构，该带子按压机构从带子宽度方向的两侧按压带子的 边缘部分。

但是，在专利文献1中公开的薄膜曝光装置中，若带子宽度发生变 化，则存在需要更换压板的问题。另外还存在需要在投影光学系和真空 台之间的狭小的作业区域上配置带子按压机构的问题点。

专利文献1：日本特开2005-274670号公报

发明内容

因此，本发明是鉴于上述问题点的发明，其目的在于，即使在带子 宽度发生变化的情况也不需要更换压板的作业。本发明的另一个目的是， 能够通过在校准识别标记的近旁按压带子来防止带子的翘曲或松弛，且 能够观察带子的校准识别标记。

第1观点的曝光装置是将具有规定宽度的胶卷形状的被曝光体送至 曝光台上，并将掩膜的电路图案曝光在被曝光体上的曝光装置。该曝光 装置具有：按压被曝光体的压板；用于观察形成在被曝光体上的第1校 准识别标记(例如：校准识别标记AM)和形成在电路图案掩膜上的第2 校准识别标记(例如：掩膜识别标记MM)的图像识别部；使压板和图 像识别部同时向被曝光体的规定宽度方向移动的第1移动部。

根据这种构成，由于第1移动部可以同时移动压板和图像识别部， 因此可以缩短吸附被曝光体整面之后进行校准所需的时间。另外，由于 无需设置个别的移动部，因此可以降低制造成本。

第2观点的曝光装置的压板，按压被曝光体按压至规定宽度方向上 的比第1校准识别标记更靠内侧的位置，并且压板具有观察第1校准识 别标记和第2校准识别标记的观察窗。

由于使用可以覆盖第1校准识别标记和第2校准识别标记的长度的 压板，因此能够可靠地按压被曝光体的端部。再有，图像识别部可以从 观察窗观察第1及第2校准识别标记。

第3观点的曝光装置的压板仅按压规定宽度方向上的比第1校准识 别标记更靠外侧的位置。

尤其，若被曝光体的规定宽度大致不变，则缩短压板也能够可靠地 按压被曝光体的端部。

第4观点的曝光装置的第1移动部具有第2移动部，该第2移动部 使压板沿着与被曝光体交叉的方向移动，以使压板接触到被曝光体。

第5观点的曝光装置的第1移动部使压板和图像识别部以被曝光体 的传送方向为轴进行旋转。

第6观点的曝光装置至少设置2个图像识别部。由此，可以校准掩 膜和被曝光体。

本发明所涉及的曝光装置即使在带子的宽度发生变化时也可以迅速 且灵活地进行对应，另外同时能够高精度地对准校准识别标记，因此可 以进行提高了掩膜图案重合的曝光。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式所涉及的曝光装置100的概略图。

图2是表示本发明的实施方式所涉及的带子传送系60的概略立体 图。

图3是表示本发明的实施方式所涉及的校准绘图装置30及校准照相 机40的概略立体图。

图4是从第1传送滚子64侧观察了校准照相机40a和校准照相机40b 的平面图。

图5A是压板42的侧视图。

图5B是压板42的平面图。

图6A是第1变形例的压板42-1的平面图。

图6B是第2变形例的压板42-2的平面图。