[发明专利]电光装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种电光装置及其制造方法。

背景技术

近年来，在便携电话机、便携型计算机、摄像机等的电子设备中，显示部广泛采用液晶装置等的电光装置。在如此的液晶装置中，由于光到达作为其构成要件的液晶驱动用的TFT(薄膜晶体管)而流动泄漏电流，存在显示质量可能下降这一问题。为了解决如此的问题，例如在专利文献1中，公开了如下液晶装置：在TFT的上层侧及下层侧的至少一方配置遮光膜，抑制光向该TFT的入射。并且，在专利文献2中，公开了如下液晶装置：使遮光膜的光反射率形成为，在与TFT相对的一侧降低、在其相反侧升高，抑制光向该TFT的入射。

【专利文献1】日本特开平10—301100号公报

【专利文献2】日本特开平2000—330133号公报

可是因为在上述液晶装置中遮光膜为平板状，所以无法充分遮挡相对于TFT从横向方向或者倾斜方向进行入射的光，存在无法充分减轻由泄漏电流所引起的显示质量的下降这一问题。

发明内容

本发明，为了解决上述问题的至少一部分而作出，能够作为以下的方式或应用例而实现。

(应用例1)

一种电光装置，其至少具备：基板、形成于上述基板上的具有预定宽度的第1遮光膜、形成于上述第1遮光膜上的第1层间绝缘膜、形成于上述第1层间绝缘膜上的晶体管、形成于上述晶体管上的第2层间绝缘膜、和形成于上述第2层间绝缘膜上的第2遮光膜，其特征为：上述晶体管的半导体层，以从上述基板侧由上述第1遮光膜覆盖的方式设置，并且以从与上述基板相反侧由上述第2遮光膜覆盖的方式设置；上述第2遮光膜，形成得比上述第1遮光膜宽；上述第1层间绝缘膜的膜厚最薄的部分，俯视存在于上述第1遮光膜的端部与上述第2遮光膜的端部之间。

如果为如此的构成，则形成于上述第1层间绝缘膜上的上述第2层间绝缘膜，能够形成得连上述晶体管的侧面也覆盖。从而，形成于上述第2层间绝缘膜上的上述第2遮光膜形成为连上述晶体管的侧面也覆盖的形状，能够降低从横向方向或者倾斜方向进行入射的光的影响。

(应用例2)

一种电光装置，其至少具备：基板、形成于上述基板上的具有预定宽度的第1遮光膜、形成于上述第1遮光膜上的第1层间绝缘膜、形成于上述第1层间绝缘膜上的晶体管、形成于上述晶体管上的第2层间绝缘膜、和形成于上述第2层间绝缘膜上的第2遮光膜，其特征为：上述晶体管的半导体层，以从上述基板侧由上述第1遮光膜覆盖的方式设置，并且以从与上述基板相反侧由上述第2遮光膜覆盖的方式设置；上述第2遮光膜，形成得比上述第1遮光膜宽；上述第1遮光膜的表面与上述第1层间绝缘膜的表面的间隔变得最短的部分，俯视存在于上述第1遮光膜的端部与上述第2遮光膜的端部之间。

如果为如此的构成，则形成于上述第1层间绝缘膜上的上述第2层间绝缘膜，能够形成得连上述晶体管的侧面也覆盖。从而，形成于上述第2层间绝缘膜上的上述第2遮光膜形成为连上述晶体管的侧面也覆盖的形状，能够遮挡从横向方向或者倾斜方向进行入射的光，能够降低由泄漏电流所引起的显示质量的下降。

(应用例3)

一种电光装置，其至少具备：基板、具有形成于上述基板上的预定宽度的第1遮光膜、形成于上述第1遮光膜上的第1层间绝缘膜、形成于上述第1层间绝缘膜上的晶体管、形成于上述晶体管上的第2层间绝缘膜、和形成于上述第2层间绝缘膜上的第2遮光膜，其特征为：上述晶体管的半导体层，以从上述基板侧由上述第1遮光膜覆盖的方式设置，并且以从与上述基板相反侧由上述第2遮光膜覆盖的方式设置；上述第2遮光膜，形成得比上述第1遮光膜宽；上述第2层间绝缘膜的表面与上述基板表面的间隔变得最短的部分，俯视存在于上述第1遮光膜的端部与上述第2遮光膜的端部之间。

如果为如此的构成，则上述第2层间绝缘膜能够形成为不仅覆盖上述晶体管的上表面、而且也覆盖侧面的形状。从而，能够遮挡从横向方向或者倾斜方向入射于上述晶体管的光，能够降低由泄漏电流所引起的显示质量的下降。

(应用例4)