[发明专利]准分子灯有效
| 申请号： | 200910126162.9 | 申请日： | 2009-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN101540264A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 藤泽繁树;森本幸裕;菱沼宣是 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | H01J65/00 | 分类号： | H01J65/00;H01J61/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谢丽娜;关兆辉 |
| 地址： | 日本国东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分子 | ||
【权利要求书】：
1.一种准分子灯，具有内侧管与外侧管配置在同轴方向的双重管 构造的石英玻璃构成的放电容器，在介设有形成该放电容器的石英玻 璃的状态下设置一对电极，在放电空间内封入有氙气体，在上述放电 容器的放电空间内发生准分子放电，其特征在于：
上述内侧管由OH的浓度为10ppm以下的熔融石英玻璃形成，上 述外侧管由合成石英玻璃形成，上述放电容器至少在暴露于内侧管的 外周面的放电空间的表面的整个区域上，形成有由包含由合成石英玻 璃形成的二氧化硅粒子的紫外线散射粒子构成的紫外线反射膜。
2.根据权利要求1所述的准分子灯，其特征在于，
形成于上述内侧管的外周面的紫外线反射膜的膜厚是10μm以 上。
3.根据权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，
上述紫外线散射粒子包含氧化铝粒子。
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