[发明专利]准分子灯

说明书

技术区域

本发明涉及一种准分子灯，具有由石英玻璃构成的放电容器，在 介设有形成该放电容器的石英玻璃的状态下设置一对电极，在上述放 电容器的内部发生准分子放电。

背景技术

近年来，开发了通过将波长为200nm以下的真空紫外光照射在由 金属、玻璃及其它材料构成的被处理体上，通过该真空紫外光及由此 生成的臭氧的作用来处理被处理体的技术，例如除去附着于被处理体 表面的有机污染物质的洗净处理技术或在被处理体的表面上形成氧化 膜的氧化膜形成处理技术，并正在进行实用化。

作为照射真空紫外光的装置，使用例如通过准分子放电形成准分 子分子、将利用从该准分子分子所放射的例如波长为170nm左右的光 的准分子灯作为光源的装置。在这种准分子灯中，为了更有效率地放 射更高强度的紫外线，实施了很多尝试。

图1是表示准分子灯的构成的说明用剖面图，(a)是表示沿着放 电容器2的长边方向的剖面的横向剖面图，(b)是(a)的A-A线剖 面图。

根据日本特开2007-335350公报的记载，准分子灯1具备由透射 紫外线的合成石英玻璃构成的放电容器2，在该放电容器2的内侧与外 侧分别设有电极5、6，在暴露于放电容器2的放电空间S的表面的一 部分上形成紫外线反射膜8。作为紫外线反射膜8，示例了仅由二氧化 硅粒子构成的膜，及仅由含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子构成的 膜。

在该准分子灯1中，在放电容器2中，通过未形成有紫外线反射 膜8而形成将在放电空间S内产生的紫外线的射出的光出射部7。

根据这种构成的准分子灯1，在放电容器2中的、暴露于放电空 间S的表面上设有紫外线反射膜8，从而在设有紫外线反射膜8的区域 中，发生在放电空间S内的紫外线被紫外线反射膜8反射，因而会减 小其透射合成石英玻璃导致的衰减。并且，紫外线被紫外线反射膜8 反射，仅在构成光出射部7的区域透射石英玻璃而被放射至外部，因 而可以有效地将放电空间S内产生的紫外线照射在对象物上。而且， 紫外线反射膜8通过构成为以二氧化硅粒子为主体，对于合成石英玻 璃构成的放电容器2可得到高亲和性。

专利文献1：日本特开2007-335350公报

可是，近年来，随着作为照射对象的液晶面板显示元件的基板逐 渐大面积化，准分子灯1也逐渐加长，例如需要全长超过800mm的准 分子灯1。然而，这种加长的准分子灯1会在点灯中发生放电容器2破 碎的问题。

发明内容

本发明为了解决上述问题而成，其目的是在于提供一种准分子灯， 在放电空间内发生准分子放电，放射真空紫外光，可消除点灯中放电 容器破碎的问题。

本发明的第1项发明，是一种准分子灯，具有内侧管与外侧管配 置在同轴方向的双重管构造的石英玻璃构成的放电容器，在介设有形 成该放电容器的石英玻璃的状态下设置一对电极，在放电空间内封入 有氙气体，在上述放电容器的放电空间内发生准分子放电，其特征在 于：上述内侧管由熔融石英玻璃形成，上述外侧管由合成石英玻璃形 成。

并且，本发明的第2项发明是在本发明的第1项发明中，上述放 电容器至少在暴露于内侧管的外周面的放电空间的表面的整个区域 上，形成有由包含二氧化硅粒子的紫外线散射粒子构成的紫外线反射 膜。

并且，本发明的第3项发明是在本发明的第2项发明中，上述内 侧管由电性熔融石英玻璃形成，上述二氧化硅粒子由合成石英玻璃形 成。

并且，本发明的第4项发明是在本发明的第2或第3项发明中， 形成于上述内侧管的外周面的紫外线反射膜的膜厚是10μm以上。

并且，本发明的第5项发明是在本发明的第2至第4项发明中的 任一项中，上述紫外线散射粒子包含氧化铝粒子。

根据本发明的第1项发明的准分子灯，容易变为高温的内侧管由 熔融石英玻璃构成，温度维持在比内侧管低的外侧管由合成石英玻璃 构成，从而外侧管与内侧管之间的热膨胀导致的收缩差变小，可解决 在准分子灯点灯中放电容器破碎的问题。

并且，根据本发明的第2项发明的准分子灯，即使由熔融石英玻 璃构成内侧管，通过将紫外线反射膜形成在暴露于内侧管外周面的放 电空间的表面的整个区域，也可防止真空紫外光照射到内侧管，可抑 制放电容器的劣化。因此，即使是在放电空间内发生准分子放电而放 射真空紫外光的准分子灯，也可利用熔融石英玻璃形成构成放电容器 的内侧管。