[发明专利]氯硅烷的精炼装置及氯硅烷制造方法

权利要求书

1.一种氯硅烷的精炼装置，其特征在于，

在填充了氯化钠的容器上设有：对该氯化钠的层进行加热的加热 机构、供给含有由金属硅和氯化氢反应生成的氯硅烷的气体的气体供 给管、将通过了上述氯化钠的层后的气体排出的气体回收管，

形成有覆盖上述容器的至少底部外表面的外套，并且，对该外套 供给热介质，在容器底部，以贯通上述外套的方式连接有将所生成的 复盐排出的复盐排出管，在复盐排出管的贯通部形成有包围上述复盐 排出管的筒状壁，上述外套形成在该筒状壁的外侧，

设置有环状的端板，以堵塞上述筒状壁与上述复盐排出管之间的 空间，由上述筒状壁、上述复盐排出管和上述端板在上述容器的底部 的外侧形成包围上述复盐排出管的环状室。

2.根据权利要求1所述的氯硅烷的精炼装置，其特征在于，在上 述容器内设有上下分隔该容器的网板，在该网板的下方位置连接有上 述气体供给管，在网板的上方位置连接有上述气体回收管，上述氯化 钠填充于上述网板上。

3.根据权利要求1或2所述的氯硅烷的精炼装置，其特征在于， 在上述气体供给管的上游位置设有除去含有上述氯硅烷的气体中的粉 尘的过滤器，该过滤器具有使用聚四氟乙烯的织物制成的过滤器、或 将聚四氟乙烯做成连续多孔质体而成的膜式过滤器。

4.根据权利要求1或2所述的氯硅烷的精炼装置，其特征在于， 在上述环状室设置有排出管。

5.一种氯硅烷制造方法，制造使用权利要求1所述的氯硅烷的精 炼装置精炼的氯硅烷，其特征在于，从上述气体供给管将含有上述氯 硅烷的气体供给到上述容器内，并使该气体通过填充于该容器内的上 述氯化钠的层，从上述气体回收管进行回收。