[发明专利]产品验证系统

说明书

技术领域

本发明有关于一种测试系统，特别关于一种产品验证系统。

背景技术

半导体晶圆在分割为晶粒前通常需要一验证作业，以筛除坏掉的晶粒，减少无谓的封装成本。

此验证作业一般包括晶圆测试(wafer probe)，对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上以金线制成的细如毛发的探针(probe)，与晶粒上的接点(pad)接触，测试其电气特性，不合格的晶粒会被标上记号，而后当晶片依晶粒为单位切割成独立的晶粒时，标有记号的不合格晶粒会被淘汰，不再进行下一个制程，以免徒增制造成本。

本发明提供实现上述晶圆验证作业的测试系统。

发明内容

本发明揭露的产品验证系统包括一第一机台以及一第二机台。第一机台为操作端，其中包括：一第一红外线收发模块、一第一控制单元以及一储存单元。第二机台为测试端，耦接一待测产品。第二机台包括一第二红外线收发模块以及一第二控制单元。

第一红外线收发模块与第二红外线收发模块负责第一机台与第二机台之间的通讯。第一控制单元提供的一测试命令将由第一红外线收发模块发送至第二红外线收发模块，再由第二红外线收发模块传送至第二控制单元。根据测试命令，第二控制单元测试该待测产品，以获得测试数据。测试数据将由第二红外线收发模块发送至第一红外线收发模块，再传送至第一控制单元，由第一控制单元储存于储存单元。储存单元内的测试数据可供后续分析使用。

本发明提供一种产品验证系统，包括：一第一机台，用以控制该产品验证系统的操作；一第二机台，耦合至该第一机台，根据该第一机台所传送的一测试命令对一待测产品进行一测试程序，并产生一测试数据，传送至该第一机台；以及其中该第一机台与该第二机台的传输是利用红外线方式。

本发明所述的产品验证系统，该第一机台包括：一第一红外线收发模块，用以传送该测试命令或接收该测试数据；一第一控制单元，通过该第一红外线收发模块，提供该测试命令至该第二机台；以及一储存单元，储存自该第二机台所传送的该测试数据。

本发明所述的产品验证系统，该第二机台包括：一第二红外线收发模块，用以传送该测试数据或接收该测试命令；一第二控制单元，耦合于该第二红外线收发模块，根据所接收的该测试命令，测试该待测产品，并产生该测试数据。

本发明所述的产品验证系统，该第一控制单元的数据传输形式为并行传输(parallel communication)。

本发明所述的产品验证系统，该第一红外线收发模块包括：一第一并行-串行转换模块，耦合该第一控制单元，将该测试命令由并行传输形式转换为一串行传输形式；一第一发送端运算单元，接收串行传输形式的该测试命令，将串行传输形式的该测试命令载入识别码并进行一红外线调变；以及一第一红外线发送器，耦合该第一发送端运算单元，以发送上述红外线调变后的该测试命令。

本发明所述的产品验证系统，该第一红外线收发模块还包括：一第一红外线接收器，接收该测试数据；一第一接收端运算单元，耦合于该第一红外线接收器，以解调并判断该测试数据；以及一第一串行-并行转换模块，耦合该第一接收端运算单元，将该测试数据由串行传输形式转换为并行传输形式。

本发明所述的产品验证系统，该第二控制单元的数据传输形式为并行传输。

本发明所述的产品验证系统，该第二红外线收发模块包括：一第二红外线接收器，用以接收该测试命令；一第二接收端运算单元，解调并判断该测试命令，以取得串行传输形式的该测试命令；以及一第二串行-并行转换模块，将串行传输形式的该测试命令转换为并行传输形式。

本发明所述的产品验证系统，该第二红外线收发模块包括：一第二并行-串行转换模块，耦合该第二控制单元，将并行传输形式的该测试数据转换为串行传输形式；一第二发送端运算单元，对上述串行传输形式的该测试数据载入识别码且进行一红外线调变；以及一第二红外线发送器，耦接该第二发送端运算单元，以发送上述经红外线调变后的该测试数据。

本发明所述的产品验证系统，该待测产品包括半导体晶圆的晶粒或已切割的晶粒。

本发明所述的产品验证系统，该测试程序包括电气特性测试或晶圆测试(wafer probe)。