[发明专利]光照射装置

权利要求书

1.一种光照射装置，将从光源射出、透射过配置在所述光源下方遮光罩的 光，照射于配置在所述遮光罩下方的被照射体上，其特征在于，包括：

支承构件，所述支承构件设于所述遮光罩上方；及

多根吸附管，所述吸附管被所述支承构件支承，由具有光透射性的石英玻 璃构成，并且被设置在所述遮光罩的上方，利用真空吸引以吸附保持所述遮光 罩；

所述吸附管包含：第1管材，所述第1管材被所述支承构件支承；及第2 管材，所述第2管材连结于所述第1管材之下端部，沿着所述第2管材的轴向 的两端面是经过研磨处理的研磨面。

2.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，所述支承构件设置于偏 离从所述光源射出光的光路的位置。

3.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，所述支承构件设置成可 于水平方向移动。

4.如权利要求1至3中任一项所述的光照射装置，其进一步包括：

周缘部吸附管，具有光透射性，利用真空吸引以吸附保持所述遮光罩的周 缘部；及

支承体，用以支承所述周缘部吸附管。

5.如权利要求4所述的光照射装置，其特征在于，所述支承体设于所述遮 光罩的侧方。

6.如权利要求5所述的光照射装置，其特征在于，所述周缘部吸附管的上 端面位于所述光源下方。