[发明专利]降低显影液成本的装置及其方法

权利要求书

1.一种用于使显影液浓度均匀的方法，其特征在于，该方法包含下列步骤：

提供承载装置；

提供显影液；

将该显影液滴至该承载装置上的晶圆上，并旋转该承载装置；

停止对该承载装置旋转；

物理性地扰动该显影液；及

停止扰动并将该晶圆上的显影液干燥。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，物理性地扰动该显影液的步骤，是通过具有不平整底面的底部装置来进行，或通过超音波震动器来进行。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，该底部装置的形状为绒毛状或齿轮状，并利用该绒毛状或齿轮状的底面对该显影液产生扰动。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，该底部的材质为金属、非金属或其适当的组合物。

5.一种用于使显影液浓度均匀的装置，其特征在于，包含：

承载装置，用以承载晶圆；

显影液喷嘴，用以提供显影液至该晶圆上；以及

扰动装置，用以扰动该显影液，以达到其浓度均匀的目的。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，该扰动装置具有不平整的底部，且利用该底部对该显影液产生扰动。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，该底部为绒毛状或齿轮状，并利用该绒毛状或齿轮状的底部对该显影液产生扰动。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，该底部的材质为金属、非金属或其适当的组合物。

9.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，该扰动装置包含一超音波震动器。

10.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，该显影液喷嘴包含在该扰动装置内。