[发明专利]排气集管和真空排气处理装置

权利要求书

1.一种排气集管，其特征在于，包括：

能够接受尾管的尾管插入室，

在上述尾管插入室内侧的全周上露出、利用内部压力的上升而将上述尾管插 入室和上述尾管之间的间隙封堵的膨胀密封环，

与上述膨胀密封环连通、包围上述尾管插入室的封套，

用于排出上述尾管插入室内部的气体的真空排气流路，

向上述封套供给冷却水的冷却水供给流路，以及

从上述封套排出上述冷却水的冷却水排出流路。

2.如权利要求1所述的排气集管，其特征在于，上述膨胀密封环的外周和上 述封套的内壁抵接。

3.如权利要求1所述的排气集管，其特征在于，上述封套的内壁构成上述尾 管插入室的内壁。

4.一种真空排气处理装置，其特征在于，具有如权利要求1至3中的任何一 项记载的排气集管。

5.如权利要求4所述的真空排气处理装置，其特征在于，还包括调节上述封 套内压力的压力调节装置。