[发明专利]排气集管和真空排气处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及排气集管和真空排气处理装置。

背景技术

在等离子体显示面板的制造过程中等，要使用在安装于产品的尾管上安装 排气集管来进行抽真空的真空排气装置。

例如，在专利文献1中，记载了如图5所示的用于对等离子体显示面板41 抽真空的真空排气装置用的以往的排气集管42。以往的排气集管42包括：划定 接受尾管43的尾管插入室44的杯形部件45，设置在尾管插入室44的口部、内 部被供给加压空气而膨胀、将杯形部件45和尾管43之间的间隙密封的膨胀密 封环46，以及紧贴地设置在杯形部件45和膨胀密封环46的外周的、为了使杯 形部件45和膨胀密封环46冷却而通入冷却水的封套47。

此外，以往的排气集管42包括：作为将尾管插入室44内的空气排出的流 路的真空排气管48、作为向膨胀密封环46供给压缩空气的流路的压缩空气连接 管49，作为向封套47供给冷却水的流路的冷却水供给管50，以及作为从封套 47流出冷却水的流路的冷却水排出管51。排气集管42需要在安装于尾管43上 时以及尾管43熔断时移动。因此，真空排气管48、压缩空气连接管49、冷却 水供给管50和冷却水排出管51分别通过柔性管(未图示)连接在与其他排气 集管共用的总管配管上。

由于是在加热炉内进行处理，因此要求与排气集管42连接的4个柔性管具 有耐热性，从而可挠性不够。因此，这些柔性管限制了排气集管42的可动范围， 使得排气集管42的动作调整很困难。

专利文献1：特许第3670997号公报

发明内容

针对上述问题，本发明的目的是，提供一种需要连接的柔性管的数量少的 排气集管和柔性管的连接数少的真空排气装置。

为了解决上述问题，本发明的排气集管包括：能够接受尾管的尾管插入室， 在上述尾管插入室内侧的全周上露出、利用内部压力的上升而将上述尾管插入 室和上述尾管之间的间隙封堵的膨胀封闭环，与上述膨胀密封环连通、包围上 述尾管插入室的封套，用于排出上述尾管插入室内部的气体的真空排气流路， 向上述封套供给冷却水的冷却水供给流路，以及从上述封套排出上述冷却水的 冷却水排出流路。

根据这样的结构，由于可以利用冷却水的水压使膨胀密封环膨胀，且将尾 管插入室和尾管之间的间隙封闭，因此不必供给用于使膨胀密封环膨胀的压缩 空气等，使连接到排气集管的柔性管减少。

此外，在本发明的排气集管中，可以是上述膨胀密封环的外周和上述封套 的内壁抵接。

根据这样的结构，膨胀密封环容易和封套连接，此外，由于封套限制了膨 胀密封环向外侧扩大直径，因此可以利用膨胀密封环内压的上升有效地缩小内 径。

此外，在本发明的排气集管中，上述封套的内壁也可以构成上述尾管插入 室的内壁。

根据这样的结构，能够减少排气集管的部件数量，简化装置。

此外，本发明的真空排气装置包括上述任一排气集管。

如果采用这样的结构，不必供给使膨胀密封环膨胀的压缩空气等，且连接 到排气集管的柔性管减少，因此柔性管对排气集管动作的限制减少，使排气集 管能够精密地移动。

此外，本发明的真空排气装置也可以进一步包括调节上述封套内压力的压 力调节装置。

根据这样的结构，由于能够利用压力调节装置调节膨胀密封环的膨胀力， 因此可以利用膨胀密封环恰当地密封尾管。

发明效果

由于利用冷却水的水压使膨胀密封环膨胀，从而封闭尾管插入室和尾管之 间的间隙，因此其优点是不必供给用于使膨胀密封环膨胀的压缩空气等，使连 接到排气集管上的柔性管变少。因此排气集管能够精密地移动。

附图说明

图1是本发明第1实施例的排气集管的剖视图。

图2是具有图1的排气集管的真空排气装置的概略图。

图3是本发明第2实施例的排气集管的剖视图。

图4是本发明第3实施例的排气集管的剖视图。

图5是以往的排气集管的剖视图。

符号说明

1、1a、1b-排气集管

2-玻璃面板

4-尾管

5-尾管插入室

7-膨胀密封环

7a-加压孔

8-封套

8a-连通孔