[发明专利]振荡器装置、光偏转器以及使用光偏转器的光学器械

权利要求书

1.一种制造振荡器装置的方法，所述振荡器装置具有振荡部件、弹性支撑部和支撑部件，所述振荡部件由所述弹性支撑部弹性地支撑，以便可绕振荡轴线进行振荡，所述方法包括：

由可动元件形成所述振荡部件，所述可动元件具有用于调节所述振荡部件质量的突起，所述突起沿与所述振荡轴线平行的方向从所述可动元件延伸，并且，所述突起成对地形成，每对突起设置于相对所述振荡轴线对称的位置，每个突起的沿与所述振荡轴线垂直的平面的截面积在所述振荡轴线方向上是恒定的，以及

将激光束投射到所述突起的切割位置，以部分地去除所述可动元件，所述去除包含所述突起中未被激光束照射的、范围涉及从所述切割位置到该突起的末端部的部分，

其中，所述突起被切割，致使所述突起的除去长度的总量等于预定长度，以便由此调节所述振荡部件的转动惯量。

2.如权利要求1所述的方法，其中，根据绕所述振荡器装置的振荡轴线的固有震荡模式的频率与目标频率之间的差来确定所述突起的除去长度的总量。

3.如权利要求2所述的方法，其中，处在相对于所述震荡轴线对称的位置的突起的除去量的比例被确定，以便降低所述震荡部件的重心偏离所述振荡轴线的偏离距离。

4.如权利要求3所述的方法，其中，所述突起中的每一个都仅形成在所述振荡部件上最远离所述振荡轴线的位置。

5.如权利要求4所述的方法，其中，所述振荡器装置具有用于驱动所述振荡部件的永久磁体和线圈，并且所述永久磁体设置在所述振荡部件上。

6.一种制造振荡器装置的方法，所述振荡器装置具有第一振荡部件、第一弹性支撑部、第二振荡部件、第二弹性支撑部和支撑部件，所述第一振荡部件通过所述第一弹性支撑部由所述第二振荡部件弹性地支撑，以便可绕振荡轴线振荡，所述第二振荡部件通过所述第二弹性支撑部由所述支撑部件弹性地支撑，以便可绕所述振荡轴线振荡，所述振荡器装置具有至少两个固有振荡模式，所述两个固有振荡模式具有不同的频率，所述方法包括：

由第一可动元件形成所述第一振荡部件，所述第一可动元件具有用于调节所述第一振荡部件质量的突起，所述用于调节所述第一振荡部件质量的突起沿与所述振荡轴线平行的方向从所述第一可动元件延伸，并且，所述用于调节所述第一振荡部件质量的突起成对地形成，每对用于调节所述第一振荡部件质量的突起设置于相对所述振荡轴线对称的位置，每个用于调节所述第一振荡部件质量的突起的沿与所述振荡轴线垂直的平面的截面积在所述振荡轴线方向上是恒定的，并由第二可动元件形成所述第二振荡部件，所述第二可动元件具有用于调节所述第二振荡部件质量的突起，所述用于调节所述第二振荡部件质量的突起沿与所述振荡轴线平行的方向从所述第二可动元件延伸，并且，所述用于调节所述第二振荡部件质量的突起成对地形成，每对用于调节所述第二振荡部件质量的突起设置于相对所述振荡轴线对称的位置，每个用于调节所述第二振荡部件质量的突起的沿与所述振荡轴线垂直的平面的截面积在所述振荡轴线方向上是恒定的；

将激光束投射到所述突起的切割位置，以部分地去除所述第一可动元件和第二可动元件中的至少一个，所述去除包含所述突起中未被激光束照射的、范围涉及从所述切割位置到该突起的末端部的部分，

其中，所述突起被切割，致使所述突起的除去长度的总量等于预定长度，以便由此调节所述第一可动元件和所述第二可动元件中的至少一个的转动惯量。

7.如权利要求6所述的方法，其中，根据绕所述振荡器装置的振荡轴线的固有震荡模式的频率与目标频率之间的差来确定所述突起的除去长度的总量。

8.如权利要求7所述的方法，其中，处在相对于所述震荡轴线对称的位置的突起的除去量的比例被确定，以便降低所述震荡部件的重心偏离所述振荡轴线的偏离距离。

9.如权利要求8所述的方法，其中，所述突起中的每一个都仅形成在所述振荡部件上最远离所述振荡轴线的位置。

10.如权利要求9所述的方法，其中，所述振荡器装置还包括用于驱动所述振荡部件的永久磁体和线圈，所述永久磁体被设置在所述振荡部件上。

11.如权利要求10所述的方法，其中，形成在相对于所述震荡轴线对称的位置并设置在所述第二振荡部件上的突起的除去量的比例被确定，以便降低所述第二震荡部件的重心偏离所述振荡轴线的偏离距离。