[发明专利]振荡器装置、光偏转器以及使用光偏转器的光学器械

说明书

本申请是基于申请日为2007年6月7日、申请号为200710109624.7、名称为“振荡器装置、光偏转器以及使用光偏转器的光学器械”的申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及：一种振荡器装置，该振荡器装置具有用于振荡运动的被支撑的可动元件；一种具有该振荡器装置的光偏转器；一种例如使用该光偏转器的光学器械，例如成像装置或显示装置；以及一种制造振荡装置的方法。本发明的光偏转器适合用在基于光偏转扫描而投射图象的投影显示装置中和例如具有电子照相过程的激光束打印机或数字复印机的成像装置中。

背景技术

对于这样的光偏转器，已经提出了各种类型的光学扫描系统或光学扫描装置，该光学扫描系统或光学扫描装置中，具有反射表面的可动元件正弦地振荡以使光偏转。与采用旋转多边形反射镜(多角反射镜)的扫描光学系统相比，具有基于谐振现象而正弦振荡的光偏转器的光学扫描系统具有如下有利的特征。即，可以将光偏转器的尺寸制造地非常小；能量消耗非常低；特别是由单晶硅制成并且由半导体工艺生产的这些光偏转器在理论上不具有金属疲劳性并且具有优良的耐用性。

在基于谐振现象的这样的光偏转器中，对于期望的驱动频率来讲，预先确定了期望达到的固有振荡模式的频率。存在一些用于制造光偏转器的方法的较好提议。

日本未审公开(Laid-Open)专利申请No.2002-40355公开了一种方法，其中，采用了包括可动板的平面电反射镜，该可动板具有反射表面和线圈，并且被弹性地支撑，以相对扭转轴线进行振荡运动，并且其中，电反射镜具有形成在所述可动板的相对端部处的质量负载部分。激光束投射在该质量负载部分上，以去除其质量，从而调整转动惯量(moment of inertia)。由此实现所需的频率。

日本未审公开专利申请No.2004-219889公开了一种方法，其中，可动板涂覆有例如典型的树脂的质量件，基于与上述类似的原理来调整频率。

发明内容

在上述的方法中，如果应当进行大量的调整，则需要花费大量的时间来进行调整加工过程。此外，采用在这些方法中用到的调整原理，非常难以迅速和同时地调整频率和重心位置。

根据本发明的一个方面，这些不便之处可以通过制造这样的振荡器装置的方法来消除，该振荡器装置具有振荡部件、弹性支撑部以及支撑部件，该振荡部件由弹性支撑部弹性地支撑以绕振荡轴线振荡。该方法的特征在于：用可动元件和用于调节该振荡部件的质量的质量调节部件形成所述振荡部件，同时在该可动元件和该质量调节部件的一部分之间形成空腔；然后采用激光束照射该质量调节部件，以部分地去除该质量调节部件的邻近于该空腔的材料。所述这样去除的材料包括质量调节部件的未被激光束照射的部分。

根据本发明的另一方面，本发明提供了一种制造振荡器装置的方法，该振荡器装置包括振荡部件、弹性支撑部和支撑部件，该振荡部件由该弹性支撑部弹性地支撑以绕振荡轴线振荡，所述方法的特征在于：由可动元件形成所述振荡部件，该可动元件具有用于调节该振荡部件质量的突出部，该突出部从该可动元件沿平行于该振荡轴线的方向延伸；以及将激光束投射到该突出部的切割位置处，从而部分地去除该可动元件，去除的部分包括该突出部的范围从该切割位置延伸到该突出部的末端处的未被激光束照射到的部分；其中，通过控制该切割位置来调整由激光束投射实现的去除的量。

根据本发明的另一方面，本发明提供了一种制造振荡器装置的方法，该振荡器装置具有振荡部件、弹性支撑部和支撑部件，该振荡部件由该弹性支撑部弹性地支撑以绕振荡轴线振荡，所述方法的特征在于：由可动元件形成所述振荡部件，该可动元件具有多个用于调节该振荡部件的质量的突出部，所述突出部设置在该振荡轴线的相对两侧；沿切割线切割至少一个所述突出部，从而部分地去除该可动元件，去除包括该突出部的范围从该切割线延伸到该突出部的末端的部分；其中，对该切割线的位置进行控制，以调整该振荡部件的转动惯量和该振荡部件的重心与该振荡轴线的偏离距离。

根据本发明的又一个方面，本发明提供一种振荡器装置，其包括：振荡部件；弹性支撑部；以及支撑部件，其中，所述振荡部件由所述弹性支撑部弹性地支撑，以绕振荡轴线振荡；其中，所述振荡部件具有可动元件和用于调节所述振荡部件质量的质量调节部件；并且其中，在所述可动元件和所述质量调节部件的一部分之间形成空腔。