[发明专利]贴合玻璃基板的加工方法无效
申请号: | 200910134119.7 | 申请日: | 2009-04-24 |
公开(公告)号: | CN101565271A | 公开(公告)日: | 2009-10-28 |
发明(设计)人: | 清水政二;砂田富久;山本幸司;音田健司 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/02 | 分类号: | C03B33/02 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 许 静 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 贴合 玻璃 加工 方法 | ||
1.一种贴合玻璃基板的加工方法,其特征在于,包括如下步骤:a)针对 贴合前的两片玻璃基板各自的单侧面,通过镭射划线加工而在分割预定位置形 成所需深度的划线;
b)以形成有划线的单侧面彼此为内侧将该两片玻璃基板加以贴合;以及
c)对经贴合的两片玻璃基板的外侧面进行蚀刻,使各基板薄化至该划线 的深度为止,以该划线为端面分割各基板。
2.如权利要求1所述的贴合玻璃基板的加工方法,其特征在于,在该a) 步骤中,形成划线之前的各玻璃基板的板厚为0.4mm~2mm。
3.如权利要求1所述的贴合玻璃基板的加工方法,其特征在于,在该a) 步骤中,所要形成的划线的深度为0.01mm~0.2mm。
4.如权利要求1所述的贴合玻璃基板的加工方法,其特征在于,在该b) 步骤中,玻璃基板间之间隙宽度为10μm以下。
5.如权利要求1所述的贴合玻璃基板的加工方法,其特征在于,贴合前 的两片玻璃基板分别于基板周缘具有端材区域,且在该a)步骤中,在各基板 的与端材区域的边界处形成划线。
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