[发明专利]整体双游丝及其制造方法

权利要求书

1.一种双游丝(21)，包括在硅基材料层(11)中制成的同轴安装在内桩 (13，27)上的第一游丝(23)，其特征在于内桩(13，27)包括从所述游丝突 出的在硅基材料的第二层(5)中制成的一个延伸部分(9)，所述延伸部分延伸 (17)到与第二游丝(25)同轴的硅基材料的第三层(7)中，从而形成由硅基 材料制成的整体双游丝(21)。

2.根据权利要求1所述的双游丝，其特征在于内桩(13，9，17，27)在 每个所述层中具有大致相同的截面以便于调整所述双游丝。

3.根据权利要求1所述的双游丝，其特征在于内桩在层(5，7，11)的至 少之一上具有实质上不同的截面。

4.根据权利要求1所述的双游丝，其特征在于游丝(23，25)包括以相同 方向缠绕的线圈。

5.根据权利要求1所述的双游丝，其特征在于游丝(23，25)包括以不同 方向缠绕的线圈。

6.根据权利要求1所述的双游丝，其特征在于游丝(23，25)的每一个的 外曲线的端部彼此垂直以允许使用单个装置将所述双游丝插接到内桩上。

7.根据权利要求1所述的双游丝，其特征在于游丝(23，25)具有相同的 角刚度。

8.根据权利要求1所述的双游丝，其特征在于游丝(23，25)各自具有不 同的角刚度。

9.根据权利要求1所述的双游丝，其特征在于游丝(23，25)中的至少一 个具有至少一个二氧化硅基部分以使得所述游丝具有更大的机械阻力以及调整 所述游丝的热弹性系数。

10.根据权利要求1所述的双游丝，其特征在于游丝(23，25)中的至少 一个的内线圈具有Grossmann曲线以改善所述双游丝的同心展开。

11.根据权利要求1所述的双游丝，其特征在于内桩(27)具有用于接收 心轴的金属部分(29，31)，心轴在所述金属部分中被驱动。

12.一种计时器，其特征在于包括根据上述权利要求中任一项所述的双游 丝。

13.一种制造双游丝(21)的方法(1)，包括以下步骤：

a)提供(100)包括硅基材料的顶层(5)和底层(7)的衬底(3)，

b)在顶层(5)中选择性蚀刻(101)至少一个空腔(8，10)以限 定所述双游丝的由硅基材料制成的内桩(27)的第一部分的图 案(9)，

其特征在于进一步包括以下步骤：

c)将硅基材料的附加层(11)连接(102)到衬底(3)的被蚀刻 的顶层(5)，

d)在附加层(11)中选择性蚀刻(103)至少一个空腔(12，14) 以延续内桩(27)的图案并且限定所述双游丝的由硅基材料制 成的第一游丝(23)的图案(15)，

e)在底层(7)中选择性蚀刻(105，108，112)至少一个空腔(18， 20)以延续内桩(27)的图案并且限定所述双游丝的由硅基材 料制成的第二游丝(25)的图案(19)，以及

f)从衬底(3)分离双游丝(21)。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，在步骤d)之后，进一步包 括以下步骤：

g)氧化硅基材料制成的第一游丝(23)以使得所述游丝具有更大的机械阻 力并且调整其热弹性系数。

15.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，在步骤e)之后，进一步包 括以下步骤：

g’)氧化硅基材料制成的第二游丝(25)以使得所述游丝具有更大的机械阻 力并且调整其热弹性系数。

16.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，在步骤e)之前，进一步包 括以下步骤：

h)将至少一个金属层选择性沉积(107，110)到底层(7)上以限定内桩 (27)上的金属部分(29，31)的图案。