[发明专利]整体双游丝及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及双游丝(double balance spring)及其制造方法，更具体地涉 及在单件中形成的双游丝。

背景技术

计时器的调节部件一般包括称作摆轮(balance)的惯性轮和称作游丝的谐 振器。这些部分具有有关计时器的工作质量的决定性作用。实际上，它们调节 机心，也就是，它们控制机心的频率。

在双游丝的情况下，材料已被测试以限制温度变化对调节部件的影响而没 有解决关于装配或共振调整的困难，其中，双游丝整体形成在调节部件中。

发明内容

本发明的目的是通过如下手段克服全部或部分上述缺点：提供整体双游丝， 该整体双游丝的热弹性系数可以被调整并且使用最小化装配困难的制造方法得 到。

因此本发明涉及一种双游丝，其包括在硅基材料层中制成的同轴安装在内 桩(collet)上的第一游丝，内桩包括从所述游丝突出的一个延伸部分，且该 延伸部分在硅基材料的第二层中制成，其特征在于所述延伸部分延伸到与第二 游丝同轴的硅基材料的第三层中以便形成由硅基材料制成的整体双游丝。

根据本发明的其他有利特征：

-内桩在每个所述层中具有大致相同的截面以便于调整所述双游丝；

-内桩在所述层中的至少之一上具有大致不同的截面，

-游丝包括以相同方向或斜度(pitch)缠绕的线圈，

-游丝的每一个的外曲线的端部彼此垂直(plumb)，由此单个装置可被用于 将所述双游丝插接到内桩上，

-游丝具有相同的角刚度或斜度，

-游丝中的至少一个的至少一部分由二氧化硅制成，以使其具有更大的机械 阻力并且调整其热弹性系数；

-游丝中的至少一个的内线圈具有Grossmann曲线以改善所述线圈的同心展 开，

-内桩具有金属部分，心轴在该金属部分中被驱动。

更概括地讲，本发明涉及一种计时器，特征在于其包括根据前述变型中任 何一项所述的双游丝。

最后，本发明涉及制造双游丝的方法，其包括以下步骤：

a)提供包括硅基材料的顶层和底层的衬底，

b)在顶层中选择性蚀刻至少一个空腔以限定所述双游丝的由硅基材料制成 的内桩的第一部分的图案，

c)将硅基材料的附加层连接到衬底的被蚀刻的顶层，

d)在附加层中选择性蚀刻至少一个空腔以延续内桩的图案并且限定所述双 游丝的由硅基材料制成的第一游丝的图案，

特征在于其进一步包括以下步骤：

-在底层中选择性蚀刻至少一个空腔以延续内桩的图案并且限定所述双游 丝的由硅基材料制成的第二游丝的图案，

-从衬底分离双游丝。

根据本发明的其他有利特征：

-在步骤d)之后，其包括步骤g)：氧化硅基材料制成的第一游丝以使其具 有更大的机械阻力并且调整其热弹性系数，

-在步骤e)之后，其包括步骤g’)：氧化硅基材料制成的第二游丝以使其 具有更大的机械阻力并且调整其热弹性系数，

-在步骤e)之前，其包括步骤h)：将至少一个金属层选择性沉积到底层上 以限定内桩上的金属部分的图案，

-步骤h)包括步骤i)：至少部分地在底层的表面上以连续金属层的方式使所 述沉积生长，从而形成用于接收心轴的金属部分，心轴在金属部分中被驱 动，

-步骤h)包括步骤j)：在底层中选择性蚀刻至少一个空腔以用于接收金属部 分，以及步骤k)：至少部分地在所述至少一个空腔中以连续金属层的方 式使所述沉积生长，从而形成金属部分，心轴在金属部分中被驱动，

-步骤h)包括最后步骤1)：抛光金属沉积，

-在同一衬底上制成多个双游丝，这允许批量制造。

附图说明

其他特性和特点将从以下说明中更清楚的显现，其参考附图通过非限制性 描述给出，在附图中：

图1-5显示了根据本发明的制造方法的连续视图；

图6-8显示了替代性实施例的连续步骤的视图；

图9显示了根据本发明的方法的流程图；

图10和11显示了根据第一实施例的整体双游丝的透视图；

具体实施方式