[发明专利]四龙门式检测装置

权利要求书

1.一种四龙门式检测装置，包括：

一基座；以及

一第一测定机构，其置设于所述基座的一半侧，包括一第一移动臂和一第二移动臂，所述第一移动臂、所述第二移动臂分别与一第一驱动单元连接，并且所述第一驱动单元与所述基座相连接；以及

一第二测定机构，其置设于所述基座的另一半侧，包括一第三移动臂和一第四移动臂，所述第三移动臂、所述第四移动臂分别与一第二驱动单元连接，并且所述第二驱动单元与该基座相连接；其中

所述第一移动臂、所述第二移动臂、所述第三移动臂以及所述第四移动臂的相对内侧各接设至少一个可移动的检测单元，经由所述第一驱动单元、第二驱动单元以使所述第一移动臂、所述第二移动臂、所述第三移动臂以及所述第四移动臂及其检测单元移动至一基板的一缺陷处，以使所述检测单元撷取所述缺陷的影像。

2.如权利要求1所述的四龙门式检测装置，其中所述第一移动臂和所述第二移动臂的一侧接设有一第一导轨，并且所述第一导轨置设于基座的一侧边，所述第一移动臂和所述第二移动臂的另一侧接设有一第二导轨，并且所述第二导轨置设于所述基座的中段处。

3.如权利要求2所述的四龙门式检测装置，其中所述第二导轨上接设一排气设备，用来排出所述第二导轨所产生的微尘。

4.如权利要求1所述的四龙门式检测装置，其中所述第三移动臂和所述第四移动臂的一侧接设有一第三导轨，并且所述第三导轨置设于基座的一侧边，所述第三移动臂和所述第四移动臂的另一侧接设有一第四导轨，并且所述第四导轨置设于所述基座的中段处。

5.如权利要求4所述的四龙门式检测装置，其中所述第四导轨上接设一排气设备，用来排出所述第四导轨所产生的微尘。

6.如权利要求1所述的四龙门式检测装置，其中所述第一驱动单元、第二驱动单元可为一磁浮、一滚珠螺杆、一链条、一皮带或一线性马达。

7.如权利要求1所述的四龙门式检测装置，其中所述基座上设置一运输设备，以传送所述基板至待检测位置。

8.如权利要求1或7所述的四龙门式检测装置，其中所述基板为一平面待测物。

9.如权利要求1所述的四龙门式检测装置，其中所述检测单元移动至所述基板的该缺陷处，将所述缺陷的位置传回至一计算机单元。