[发明专利]四龙门式检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种面板影像检测技术，特别是一种四龙门式检测装置。

背景技术

由于全球大尺寸基板的需求量与日俱增，使得针对检测8.5代以下的基板的影像所设计的双龙门式检测装置，在检测8.5代以上基板的影像时，检测的速度明显变得缓慢。

在TFT LCD的检测过程中，在视觉检测装置后有双龙门式检测装置，其在龙门机构上置设检测设备。请参阅图1，其为现有技术的双龙门式检测装置(10)，如图所示，其包括第一移动臂(12)和第二移动臂(14)，该第一移动臂(12)和第二移动臂(14)上各设有检测单元。经由运输设备将基板(16)导进检测位置，在扫描缺陷(161、162、163、164)后再做影像撷取，故该基板(16)在工艺中所产生的缺陷(161、162、163、164)，可由双龙门式检测装置(10)得到再次确认。

但是，双龙门式检测装置(10)在针对已知坐标位置的缺陷(161、162、163、164)进行检测时，以第一移动臂(12)、第二移动臂(14)先分别滑动至缺陷(161)、缺陷(163)，并由其上所设置的检测单元撷取影像，再分别滑动至缺陷(164)、缺陷(162)，然后由其上所设置的检测单元撷取影像。简言之，在相同的时间下，该双龙门式检测装置(10)仅将基板(16)分成左、右两个区域进行检测，使得单一移动臂需要执行的影像检测范围较大。此外，由于基板的代增加，使得其尺寸也随之增大，双龙门式检测装置在检测基板(26)的速度方面，也渐渐无法符合客户的要求。

鉴于上述缺点，现有技术的双龙门式检测装置(10)的实用性有限制，因此必须将其改良以缩短影像检测所需的时间。

发明内容

为了解决上述问题，本发明目的之一为提供一种四龙门式检测装置，其将基座分成四个检测区，并以四个移动臂执行检测，以提升检测速度。

本发明目的之一是提供一种四龙门式检测装置，其包括基座、第一测定机构和第二测定机构，其中第一测定机构包括第一移动臂和第二移动臂，该第一移动臂、第二移动臂的一侧或两侧分别与第一驱动单元相连接，并且第一驱动单元接设于基座；该第二测定机构，包括第三移动臂和第四移动臂，该第三移动臂、第四移动臂的一侧或两侧分别与第二驱动单元相连接，并且第二驱动单元接设于基座；在上述第一移动臂、第二移动臂、第三移动臂以及第四移动臂的相对内侧各接设至少一可移动的检测单元。

以下通过具体实施例，配合所附图详加说明，会更容易了解本发明的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。

附图说明

图1为现有技术的双龙门式检测装置的俯视示意图。

图2为本发明的四龙门式检测装置的俯视示意图。

图3为本发明的四龙门式检测装置的侧视示意图。

图4为本发明的四龙门式检测装置的实施示意图。

主要组件符号说明