[发明专利]低成本大画面广视野角高速回应液晶显示装置有效
申请号: | 200910137201.5 | 申请日: | 2007-04-10 |
公开(公告)号: | CN101552233A | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
发明(设计)人: | 田中荣;鲛岛俊之 | 申请(专利权)人: | 三国电子有限会社 |
主分类号: | H01L21/82 | 分类号: | H01L21/82;H01L21/768;G02F1/1343;G02F1/1368 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿 宁;张华辉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 低成本 画面 视野 高速 回应 液晶 显示装置 | ||
1.一种IPS模式用主动矩阵基板的制造方法,该基板构成主动矩阵显示装置,其特征为:使用下述3次光微影步骤来制造:
1)形成栅极电极、梳齿状像素电极、影像信号线屏蔽用共享电极、像素电极内接触焊垫、及影像信号线屏蔽用共享电极内接触焊垫,
2)形成薄膜半导体层组件分离、及接触孔,
3)形成源极电极、漏极电极、像素中央共享电极及梳齿状共 享电极,
干式蚀刻薄膜晶体管的通道部的奥姆接触层后,使用屏蔽沉积法局部成膜硅氮化膜钝化层,不在栅极电极端子部、源极电极端子部及共享电极端子部上成膜,
其中,液晶驱动用的该梳齿状像素电极经由绝缘膜而配置于与该梳齿状共享电极的不同层,该梳齿状像素电极与该梳齿状共享电极于每一像素的中央部附近弯曲,该梳齿状像素电极较该梳齿状共享电极更接近于相对基板侧。
2.一种横电场方式主动矩阵型液晶显示装置,其是使用权利要求1所述制造方法来制造。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三国电子有限会社,未经三国电子有限会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910137201.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造