[发明专利]感应耦合等离子体处理装置

权利要求书

1.一种感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，包括：

收容被处理体实施等离子体处理的处理室；

在所述处理室内载置被处理体的载置台；

向所述处理室内供给处理气体的处理气体供给系统；

对所述处理室内气体的排气系统；

高频天线，其通过电介质部件配置在所述处理室的外部、具有通过供给高频电力在所述处理室内形成感应电场的设置为同心状的3个以上的天线部；和

调节包括所述各天线部的天线电路中至少一个的阻抗，由此控制所述天线部的电流值的阻抗调节单元；

所述各个天线部，构成多个天线电缆配置为螺旋状的多重天线，并且，在其配置区域按照形成均匀的电场的方式设定其缠绕方法，在各天线部的配置区域之间，以能够实现电场均匀化的方式设定其缠绕数目。

2.根据权利要求1所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于：

被处理体形成矩形形状，所述天线部以成为大致矩形形状的方式配置天线电缆。

3.根据权利要求2所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于：

所述天线部，在大致矩形形状的各边的中央部，按照比其它部分的缠绕数目少的方式设定缠绕方法的形态。

4.根据权利要求2或3所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于：

所述天线，按照从内侧的天线部向外侧的天线部缠绕数目变少的方式设定各天线部的缠绕数目。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于：

所述阻抗调节单元，与包括所述各天线部的天线电路中至少一个连接，调节该被连接的天线电路的阻抗。

6.根据权利要求5所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于：

所述阻抗调节单元具有可变电容。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的感应耦合等离子体处理装置，其特征在于：

还具有控制单元，其预先设定能够得到最适合于每个应用的等离子体密度分布的所述阻抗调节单元的调节参数，当选择规定的应用时，按照使与该应用对应的所述阻抗调节单元的调节参数成为预先设定的最佳值的方式控制所述阻抗调节单元。