[发明专利]多孔质玻璃母材的制造方法及气体流量控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及多孔质玻璃母材的制造方法及气体流量控制装置。

背景技术

传统上，对光纤用母材的制造方法曾提出过各种方案。例如，可 以列举以下方案：在边旋转边上升的轴上安装开始构件，在反应室内 垂下，使在反应室内设置的燃烧器生成的玻璃微粒子附着堆积在开始 构件的顶端的VAD法；使燃烧器或者开始部件做相对往返移动，让在 燃烧器火焰中发生的玻璃微粒子附着堆积在旋转的出发部件上的 OVD方法。

传统上，作为合成多孔质玻璃母材的燃烧器，使用了同芯多重管 燃烧器。因为同芯多重管燃烧器对玻璃原料气体、可燃气体及助燃性 气体的混合不充分，所以玻璃微粒子的生成反应不充分，其结果是收 获率不增长，很难高速合成。

为了解决这个问题，在专利文献1中提出了这样的多喷嘴型燃烧 器：在可燃气喷出端口内，以围绕中心的原料气体喷出端口的方式配 置小口径助燃性气体喷出端口。

作为采用多喷嘴型燃烧器进一步提高堆积效率的方法，例如，专 利文献2～5等提出关于小口径助燃性气体喷出端口的构造的方案，作 为小口径助燃性气体喷出端口的中心距合理化的专利文献有专利文献 6～8等，以及作为实现气体流量及气体线速度合理化的专利文献有专 利文献9～12等。

[专利文献1]专利1773359号公报

[专利文献2]特开2003-206154号公报

[专利文献3]特开2004-331440号公报

[专利文献4]特开2006-182624号公报

[专利文献5]专利3744350号公报

[专利文献6]特开平05-323130号公报

[专利文献7]专利3543537号公报

[专利文献8]特开2003-226544号公报

[专利文献9]专利3591330号公报

[专利文献10]特开2003-165737号公报

[专利文献11]特开2003-212555号公报

[专利文献12]专利3653902号公报

在多孔质玻璃母材的制造过程中，传统上采用的同芯多重管燃烧 器，在使可燃气喷出端口和助燃性气体喷出端口相互邻接时，口的顶 端的温度上升，发生口的顶端的燃烧。为此，在同芯多重管燃烧器中， 还设有介于可燃气喷出端口与助燃性气体喷出端口之间喷出端口，通 过对该介于两者之间的喷出端口供给惰性气体来防止燃烧器的顶端的 燃烧。

与其相对，对于使具有同样的中心距的小口径助燃性气体喷出端 口包含在可燃气喷出端口内的燃烧器，由于从小口径助燃性气体喷出 端口喷出的助燃性气体的线速度变得比较大，所以即便使可燃气和助 燃性气体相邻接，燃烧器顶端的燃烧也不容易发生。然而，在堆积开 始时，将在非堆积时作为净化气体流通的惰性气体转换成助燃性气体， 并随后依次增加分量，但是在助燃性气体到达常规的流量为止的小流 量区域内，由于在喷出端口的出口处的线速度小，因而导致可燃气和 助燃性气体的反应点靠近口，存在小口径气体喷出端口的顶端的燃烧 的问题。

发明内容

为了解决上述技术问题，在本发明的第1形态中提供一种制造方 法，采用具有助燃性气体喷出端口的多孔质玻璃母材制造用燃烧器制 造多孔质玻璃母材，包括以下步骤：在玻璃微粒子的堆积开始时，对 助燃性气体喷出端口供给将惰性气体混合到助燃性气体中形成的气 体；和在增加供给到助燃性气体喷出端口的助燃性气体的流量的同时， 减少供给到助燃性气体喷出端口的惰性气体的流量。

另外，在本发明的第2形态中，提供一种气体流量控制装置，所 述气体流量控制装置在采用具有助燃性气体喷出端口的多孔质玻璃母 材制造用燃烧器制造多孔质玻璃母材时，调节供给到助燃性气体喷出 端口的助燃性气体及惰性气体的流量，在玻璃微粒子的堆积开始时， 对助燃性气体喷出端口供给将惰性气体混合到助燃性气体中形成的气 体，并在增加供给到助燃性气体喷出端口的助燃性气体的流量的同时， 减少供给到助燃性气体喷出端口的惰性气体的流量。

将玻璃微粒子的非堆积时助燃性气体喷出端口的净化所采用的惰 性气体作为玻璃微粒子的堆积开始时混合到助燃性气体混合的惰性气 体使用。