[发明专利]坐标检测设备的制造装置

权利要求书

1.一种5线型电阻膜类型触摸面板的制造装置，该5线型电阻 膜类型触摸面板包括形成在基板上的电阻膜和向该电阻膜施加电压 的共用电极，其中，在电阻膜上产生电位分布，检测出所述电阻膜在 与探头接触的位置处的电位，并且检测出所述电阻膜上的该位置的坐 标，该制造装置包括：

激光光源，从所述基板的、与形成有所述电阻膜的面相反的面照 射激光以除去所述5线型电阻膜类型触摸面板的电阻膜的一部分，形 成电阻膜除去部分；

光学系统，使激光会聚；

多个探头，所述多个探头设置在与设置有所述激光光源的一侧相 反的一侧，并且在经由所述共用电极向所述5线型电阻膜类型触摸面 板的电阻膜施加了电压的状态下测量所述电阻膜的表面的电位；

X-Y工作台，至少二维地使所述5线型电阻膜类型触摸面板的基 板移动；以及

控制部分，控制所述X-Y工作台和所述激光光源。

2.如权利要求1所述的5线型电阻膜类型触摸面板的制造装置， 其中，

所述5线型电阻膜类型触摸面板的基板由透射激光的绝缘材料 制成。

3.如权利要求1所述的5线型电阻膜类型触摸面板的制造装置， 其中，

所述5线型电阻膜类型触摸面板的电阻膜由包括ITO或氧化铟、 氧化锡或氧化锌的材料制成。

4.如权利要求1所述的5线型电阻膜类型触摸面板的制造装置， 其中，

所述5线型电阻膜类型触摸面板的所述基板和所述电阻膜在可 见区域中是透明的。

5.如权利要求1所述的5线型电阻膜类型触摸面板的制造装置， 其中，

所述激光的波长落入340～420nm的范围内。

6.如权利要求5所述的5线型电阻膜类型触摸面板的制造装置， 其中，

所述激光光源包括准分子激光器。

7.如权利要求1所述的5线型电阻膜类型触摸面板的制造装置， 其中，

所述多个探头包括用于在经由所述共用电极向所述电阻膜施加 了电压的状态下测量所述5线型电阻膜类型触摸面板的电阻膜的表面 的电位时向所述5线型电阻膜类型触摸面板的所述共用电极施加电压 的探头。

8.如权利要求1所述的5线型电阻膜类型触摸面板的制造装置， 其中，

所述控制部分构成为控制所述X-Y工作台和所述激光光源，以 在沿着所述共用电极的位置处形成所述电阻膜除去部分，控制经由所 述共用电极提供给所述电阻膜的电位，以使在所述电阻膜上产生的电 位分布均匀。