[发明专利]导电性部件图案的制造方法无效
申请号: | 200910140871.2 | 申请日: | 2009-05-14 |
公开(公告)号: | CN101583245A | 公开(公告)日: | 2009-11-18 |
发明(设计)人: | 糠信恒树;青木直文 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H05K3/10 | 分类号: | H05K3/10;G03F7/40 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王 健 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导电性 部件 图案 制造 方法 | ||
【权利要求书】:
1.导电性部件图案的制造方法,包括:
通过使用光敏树脂从而在基板上形成离子交换性树脂图案;
使该树脂图案吸收含有金属组分的溶液;和
烘烤已经吸收了该含有金属组分的溶液的该树脂图案,
其中烘烤步骤之前该树脂图案的宽度和“宽度/高度”比分别为小 于或等于1μm和小于或等于5。
2.根据权利要求1所述的导电性部件图案的制造方法,其中该离 子交换性树脂包含羧酸基和磺酸基中的至少一种。
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