[发明专利]光波导基板及其制备方法、模、以及光电混载模块

权利要求书

1.一种带有光纤固定槽的光波导基板，该带有光纤固定槽的光波导基 板具有形成于基部基板上的下部覆盖层、形成于该下部覆盖层上的中心层、 以包埋该中心层的方式形成于该下部覆盖层和该中心层上的上部覆盖层、以 及与该中心层串联地形成于该下部覆盖层上的光纤固定槽，其特征在于，该 下部覆盖层具有该光纤固定槽和中心槽，所述中心槽的上端面部比所述光纤 固定槽的上端面部低、且在该光纤固定槽和该中心槽之间设置有堰。

2.根据权利要求1所述的带有光纤固定槽的光波导基板，其中，所述 下部覆盖层为UV固化型环氧树脂的固化物。

3.一种权利要求1所述的带有光纤固定槽的光波导基板的制备方法， 其特征在于，该方法包括：

（a）由凹型制备凸型的工序：所述凹型具有对应于光纤固定槽和中心 槽的各个凹部，并在对应于光纤固定槽的该凹部和对应于中心槽的该凹部之 间设置有对应于堰的凸部；所述凸型具有对应于光纤固定槽和中心槽的各个 凸部，并在对应于光纤固定槽的该凸部和对应于中心槽的该凸部之间设置有 对应于堰的凹部；

（b）形成下部覆盖层的工序，该工序包括：在基部基板上涂敷覆盖材 料，以对应于光纤固定槽和中心槽的各个凸部正对该基部基板的方式来载置 该凸型，使该覆盖材料固化后，除去该凸型，由此在该基部基板上形成具有 该光纤固定槽和该中心槽、且在该光纤固定槽和该中心槽之间设置有堰的下 部覆盖层；

（c）形成中心层的工序，该工序包括：通过在该中心槽内注入并填充 中心层材料，并使该中心层材料固化而形成中心层；

（d）形成上部覆盖层的工序，该工序包括：通过以包埋该中心层的方 式在形成有该中心层的区域的该下部覆盖层和该中心层上涂敷覆盖材料，并 使该覆盖材料固化而形成上部覆盖层；

其中，在所述凹型中，对应于所述中心槽的凹部的上端面部比对应于所 述光纤固定槽的凹部的上端面部低。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其中，用于形成所述下部覆盖层 的覆盖材料为UV固化型环氧树脂。

5.一种模，该模为用于权利要求3或4所述的带有光纤固定槽的光波 导基板的制备方法的模，其特征在于，该模具有对应于光纤固定槽和中心槽 的各个凹部、以及对应于堰的凸部，所述凸部位于对应于光纤固定槽的该凹 部和对应于中心槽的该凹部之间；或者，该模具有对应于光纤固定槽和中心 槽的各个凸部、以及对应于堰的凹部，所述凹部位于对应于光纤固定槽的该 凸部和对应于中心槽的该凸部之间。

6.一种光电混载模块，其特征在于，该光电混载模块具有权利要求1 或2所述的带有光纤固定槽的光波导基板。