[发明专利]光波导基板及其制备方法、模、以及光电混载模块

说明书

技术领域

本发明涉及带有光纤固定槽的光波导基板及其制备方法、用于该制备方 法的模、以及具有该光波导基板的光电混载模块。

背景技术

伴随着光通信系统的实用化，关于作为其基本构成的光波导的技术引起 了人们的注意。所谓光波导，代表性的有：折射率高的中心层被折射率低的 覆盖层所包围的包埋型结构，或者在折射率低的下部覆盖层上形成折射率高 的中心层、并将上部覆盖层作为空气层的山脊型的结构；入射到光波导的中 心层的光在该中心层和该覆盖层之间的界面、或者该中心层和该空气层之间 的界面反射，同时在该中心层中传播。

通常，在用于光通信的光纤的连接部或末端部，为了与其它的光纤连接， 或者与发光元件或光敏元件授受光信号，而使用光波导。作为将光纤和光波 导进行光耦合的方法，常这样进行：为了使光轴调节简便，在形成有光波导 的基部基板上，与光波导的中心层串联地设置光纤固定槽，将光纤插入该固 定槽并固定。

例如，在专利文献1中，公开了通过反应性离子蚀刻在硅基板上形成光 纤固定槽后，在光纤固定槽附近形成由玻璃粒子膜构成的光波导的方法。另 外，在专利文献2和3中，公开了在氧化铝陶瓷基板上形成有由硅氧烷聚合 物构成的光波导后，通过划片形成光纤固定槽的方法。而且，在专利文献4 中，公开了在硅基板上形成石英系光波导后，通过各向异性蚀刻(湿法蚀刻) 形成光纤固定槽的方法。

但是，在基部基板上分别形成光波导和光纤固定槽时，存在需要进行光 纤的中心和光波导的中心层的精密的位置配合，使制备工序变得复杂的问 题。于是，在专利文献5中，公开了使用具有对应于光纤固定槽和用于形成 光波导的中心层的中心槽的各个凸部分的母模(マスタ一型)，通过对基部 基板进行压制成型，制作具有光纤固定槽和中心槽的基部基板的方法。根据 该方法，一旦制成母模，在每次形成光波导或光纤固定槽时，不需要进行光 纤的中心和光波导的中心层的精密的位置配合，具有提高生产效率的优点。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开平8-313756号公报

专利文献2：特开2000-105324号公报

专利文献3：特开2000-131556号公报

专利文献4：特开2004-198653号公报

专利文献5：特开2004-347895号公报

发明内容

然而，在专利文献5中公开的方法中，由于是通过使用了母模的压制成 型来制作具有光纤固定槽和中心槽的基部基板，因而构成基部基板的材料存 在受限于能够压制成型的材料(例如，热塑性树脂)的问题。另外，在进行 使用了母模的压制成型时，在母模和基部基板的脱模性差的情况下，存在产 生模缺(型欠け)等尺寸精度降低的问题。而且，涂敷剥离剂来提高母模和 基部基板之间的脱模性后，又存在剥离剂除去困难的问题。

在上述状况下，本发明要解决的问题是提供能够以很好的尺寸精度在任 意选择的基部基板上形成光纤固定槽和光波导，且不需要进行光纤的中心和 光波导的中心层的精密的位置配合的带有光纤固定槽的光波导基板及其简 便的制备方法、用于该方法的模、以及具有该光波导基板的光电混载模块。

本发明人们进行了种种研究，结果发现：在利用软光刻技术，使用由凹 型制作的凸型，所述凹型具有对应于光纤固定槽和中心槽的各个凹部、并在 对应于光纤固定槽的该凹部和对应于中心槽的该凹部之间设置有对应于堰 的凸部，在基部基板上形成下部覆盖层(所述下部覆盖层具有光纤固定槽和 中心槽、并在该光纤固定槽和该中心槽之间设置有堰)时，能够简便地制备 这样的带有光纤固定槽的光波导基板：其不需要限定构成基部基板的材料， 能够以很好的尺寸精度在基部基板上形成光纤固定槽和光波导，不需要进行 光纤的中心和光波导的中心层的精密的位置配合，从而完成了本发明。

即，本发明提供了一种带有光纤固定槽的光波导基板，该带有光纤固定 槽的光波导基板具有形成于基部基板上的下部覆盖层、形成于该下部覆盖层 上的中心层、以包埋该中心层的方式形成于该下部覆盖层和该中心层上的上 部覆盖层、以及与该中心层串联地形成于该下部覆盖层上的光纤固定槽，其 特征在于，该下部覆盖层具有该光纤固定槽和中心槽，且在该光纤固定槽和 该中心槽之间设置有堰。