[发明专利]搬送装置以及处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种搬送FPD等大型的被搬送体的搬送装置，以及具有该搬送装置的对被搬送体进行处理的处理装置。

背景技术

在以液晶显示器(LCD)为代表的平板显示器(FPD)的制造过程中，使用所谓的多腔室型的处理装置，该处理装置具有多个在真空下对FPD用基板实施蚀刻、灰化、成膜等规定处理的处理腔室。

这种处理装置包括：设置有搬送FPD用基板(被搬送体)的搬送装置的搬送室；和在其周围设置的多个处理腔室。利用搬送装置将FPD用基板从搬送室搬入到各处理腔室，并且将处理完的基板从处理腔室搬出到搬送室。而且，负载锁定室与搬送室连接，在进行大气侧的基板的搬入搬出时，能够维持处理腔室和搬送室的真空状态来处理多个基板。这种多腔室型的处理装置记载在例如专利文献1和专利文献2中。此外，作为专利文献2中的搬送装置，记载有在滑动臂上进一步具有滑动的拾取器(pick)的搬送装置。

在这种处理装置中，在将FPD用基板搬入处理腔室时，将FPD用基板装载到搬送装置的例如滑动臂上的拾取器上，使滑动臂以及拾取器在处理腔室内的装载台的上方进出。然后，使升降销从装载台突出，将FPD用基板从拾取器装载交接到升降销上，使拾取器以及滑动臂从处理腔室向搬送室内退避。接着，使升降销下降，将FPD用基板装载到装载台上。

与此相反，在将FPD用基板从处理腔室搬出时，利用升降销使装载台上的FPD用基板上升，使滑动臂和拾取器从搬送室进入到处理腔室内。然后，使升降销下降，将FPD用基板从升降销装载交接到拾取器上。接着，使拾取器及滑动臂退避到搬送室内。

专利文献1：日本特开平9-223727号公报

专利文献2：日本特开2007-73540号公报

近年来，随着FPD用基板的大型化的日益发展，处理装置中的各腔室也逐渐大型化，搬送装置的基板搬送行程(腔室之间的搬送距离)也有变长的倾向。现阶段，基板搬送行程为5米左右，但是今后会超过5米。

如果基板搬送行程变长，则必须使滑动臂和拾取器的进出退避的行程相应地变长。仅仅是进出退避的行程变长的部分，也会使搬送装置大型化。

即使搬送装置大型化，通常也要求搬送精度和搬送速度的维持提高。在进出退避动作或者升降操作或者旋转操作中，需要对搬送装置的滑动臂或装载该滑动臂的基座施加力矩。如果滑动臂或基座大型化，则力矩也变大。由此，滑动臂或基座自身会弯曲或扭曲或翘曲，影响了搬送精度。为了抑制这些弯曲、扭曲、翘曲，如果降低进出退避速度或者升降速度或者旋转速度，则对搬送速度有影响。

对于这种现有技术的搬送装置，难以使FPD用基板即被搬送体的大型化和搬送精度以及搬送速度得到维持提高这两者同时成立。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够使被搬送体的大型化和搬送精度以及搬送速度得到维持提高这两者同时成立的搬送装置以及使用该搬送装置的处理装置。

为了解决上述问题，本发明的第一方面涉及的搬送装置包括：具有滑动部，并且在上下被配设成至少两层的下部滑动基座以及上部滑动基座；在上述下部滑动基座的滑动部上滑动，相对于上述下部滑动基座进出退避来搬送被搬送体的下部拾取器；配设在上述下部拾取器和上述上部滑动基座之间，在上述上部滑动基座的滑动部上滑动，相对于上述上部滑动基座进出退避来搬送被搬送体的上部拾取器；以及多个相互连接上述下部滑动基座和上述上部滑动基座的框架。

本发明第二方面涉及的处理装置是对被处理体实施处理的处理装置，其在搬送被处理体的搬送装置中使用上述第一方面所涉及的搬送装置。

根据本发明，能够提供一种使被搬送体的大型化和搬送精度以及搬送速度得到维持提高这两者同时成立的搬送装置以及使用该搬送装置的处理装置。

附图说明

图1是简要表示使用本发明的一个实施方式所涉及的搬送装置的处理装置的立体图。

图2是简要表示图1所示的处理装置的内部的水平截面图。

图3是表示处理腔室的一个例子的截面图。

图4是简要表示一个实施方式所涉及的搬送装置的立体图。

图5A是从图4中的箭头5A侧观察的正视图，图5B是从图4中的箭头5B侧观察的侧视图。

图6A是表示下部拾取器(pick)进出状态的图，图6B是表示下部滑动拾取器进出状态的图。

图7A是表示上部拾取器进出状态的图，图7B是表示上部滑动拾取器进出状态的图。

图8A和图8B是表示搬送被搬送体的状态的图。

图9A和图9B是简要表示驱动机构的一个例子的截面图。