[发明专利]感光液涂敷装置

权利要求书

1.一种感光液涂敷装置，其特征在于，包括：

工作台；

多个柱体，其结合在所述工作台上，所述多个柱体之间相互隔开预定距 离；

多个垂直驱动单元，其分别结合到所述多个柱体；

喷头支承件，其在所述多个垂直驱动单元的驱动作用下上下移动；

狭缝喷头，其结合到所述喷头支承件，将药液喷到基板上；以及

位移调整单元，其结合到所述多个垂直驱动单元，用于调整所述喷头支 承件的左右高度差所产生的位移量，所述位移调整单元包括：

位移补偿移动单元，其结合在所述垂直驱动单元，用于把所述喷头 支承件水平移动；

第一位移补偿旋转单元，其结合在所述位移补偿移动单元，并可旋 转地与所述喷头支承件相结合；

第二位移补偿旋转单元，其结合到所述多个垂直驱动单元中剩下的 另一个，并可旋转地与所述喷头支承件相结合。

2.根据权利要求1所述的感光液涂敷装置，其特征在于，所述工作台上 设置有用于使所述多个柱体在水平方向上线性移动的多个线性驱动单元。

3.根据权利要求1所述的感光液涂敷装置，其特征在于，所述垂直驱动 单元包括：

多个主驱动单元，其设置在所述多个柱体上，通过电机驱动；

多个辅助驱动单元，其设置在所述多个柱体上，与所述主驱动单元并联 配置，通过空压致动器驱动。

4.根据权利要求1所述的感光液涂敷装置，其特征在于，所述第二位移 补偿旋转单元包括：

轴承，其结合到同所述垂直驱动单元相连的连接部件的中间；

转轴，其结合到所述轴承内周面，并与所述喷头支承件相结合。

5.根据权利要求1所述的感光液涂敷装置，其特征在于，所述位移补偿 移动单元包括：

多个导轨，其同所述垂直驱动单元水平结合；

多个座架，其沿所述多个导轨移动；

移动件，其同所述多个座架结合。

6.根据权利要求5所述的感光液涂敷装置，其特征在于，所述第一位移 补偿旋转单元包括：

轴承，其结合到所述位移补偿移动单元中的移动件的中间；

转轴，其结合到所述轴承的内周面，并与所述喷头支承件相结合。

7.根据权利要求3所述的感光液涂敷装置，其特征在于，所述主驱动单 元包括：

所述电机；

旋转螺杆，其在所述电机的驱动作用下旋转；

传送机构，其结合到所述旋转螺杆的外周上并随之移动；

升降件，其同所述传送机构结合，在直线导轨组件的导向作用下上下移 动。