[发明专利]感光液涂敷装置

说明书

技术领域

本发明涉及感光液涂敷装置，特别涉及一种用于调整具有狭缝喷头的喷 头支承件的水平状态的感光液涂敷装置，该装置可在不导致机器疲劳的情况 下简便地进行精密调整。

背景技术

一般来说，通过照相平版印刷(Photo lithography)作业在平板显示器用 的基板上形成电路图案。所述照相平版印刷作业是通过一系列工序，即在基 板上涂敷一定厚度的光刻胶后经过对所述感光层的曝光、显影及蚀刻等工序， 在基板上形成电路图案的过程。

在上述照相平版印刷作业中尤其重要的是在感光液的涂敷工序中在基板 的薄膜上均匀涂敷一定厚度的感光层这一操作。如果感光层的厚度大于或小 于标准厚度，就无法获得均匀的蚀刻。

如此在基板上涂敷感光液的作业中已被公开的方式有采用旋涂机(spin coater)的旋转涂覆方式和采用狭缝式涂敷装置(Slit coater)的非旋转涂覆 方式。

这两种涂敷方式中，旋转涂敷方式根据其工作条件(基板的旋转速度和溶 剂蒸发等)，会形成不规则的表面。因此目前主要应用的是采用狭缝式感光液 涂敷装置的非旋转涂覆方式。非旋转涂覆方式则采用感光液涂敷装置的狭缝 喷头，一边涂敷感光液，一边于基板薄膜上涂敷一定厚度的照相平版印刷用 的感光层(光刻胶层)。

在非旋转涂覆方式中所采用的感光液涂敷装置包括：工作台；设置在所 述工作台上方两侧的多个线性驱动单元；结合到所述多个线性驱动单元，在 垂直方向上延伸的多个柱体；同所述多个柱体结合的多个垂直驱动单元；同 所述多个垂直驱动单元水平结合，供狭缝喷头结合的构台(Gantry)即喷头支 承件。

这种感光液涂敷装置中，所述喷头支承件在所述多个垂直驱动单元的驱 动作用下可上下移动，并使狭缝喷头向基板靠近。而狭缝喷头则在多个线性 驱动单元的驱动作用下水平移动的同时，在基板上涂敷药液。

这种感光液涂敷装置通过精密调整喷头支承件的水平状态，来调整狭缝 喷头的水平状态。

但是，随着需要涂敷药液的基板面积增大，感光液涂敷装置的尺寸也变 大，而结合有狭缝喷头的喷头支承件的尺寸及重量也会随之增大。这种大型 化喷头支承件无法让操作者容易且精密地调整其水平状态。尤其是，这种喷头 支承件的水平调整工作需要分两步进行，即操作者初步地把喷头支承件水平 配置后将其左右两端结合到多个垂直驱动单元。

然后，操作者一边通过水平测试工具检测喷头支承件的水平状态，一边 调整喷头支承件的左右两侧的结合位置，以进行第二次调整。在此过程中， 喷头支承件在进行初步安装后其水平状态并不精确，大部分会倾斜配置。此 时，和喷头支承件相连的部分会产生不必要的负荷，导致感光液涂敷装置的 精度下降。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的是提供一种不仅可易于调整设有狭缝喷头 的喷头支承件的水平状态，还可以在不导致机器疲劳的情况下提高安装精度 的感光液涂敷装置。

为达到上述目的，本发明采用以下技术方案。本发明的感光液涂敷装置 包括：工作台；多个柱体，其结合在所述工作台上，所述多个柱体之间相互 隔开预定距离；多个垂直驱动单元，其分别结合到所述多个柱体；喷头支承 件，其在所述多个垂直驱动单元的驱动作用下上下移动；狭缝喷头，其结合 到所述喷头支承件，将药液喷到基板上；位移调整单元，其结合到所述多个 垂直驱动单元，用于调整所述喷头支承件的左右高度差所产生的位移量。

优选地，所述工作台上设置有用于把所述多个柱体在水平方向上线性移 动的多个线性驱动单元。

优选地，所述位移调整单元包括：位移补偿移动单元，其结合在所述垂 直驱动单元中的一个，用于把所述喷头支承件水平移动；第一位移补偿旋转 单元，其结合在所述位移补偿移动单元，并可旋转地与和所述喷头支承件相 结合；第二位移补偿旋转单元，其结合到所述多个垂直驱动单元中剩下的另 一个，并可旋转地与所述喷头支承件相结合。

优选地，所述第一位移补偿旋转单元和第二位移补偿旋转单元由可旋转 地结合于所述多个垂直驱动单元、并供所述喷头支承件结合的转轴构成。

优选地，所述位移补偿移动单元包括：同所述垂直驱动单元水平结合的 多个导轨；沿所述多个导轨移动的多个座架(mount)；同所述多个座架结合 的移动件。

优选地，所述转轴的外周面上结合有轴承。