[发明专利]借助“像素偏移”生成分辨率提高的三维对象的方法

权利要求书

1.一种用于生成位图数据的方法，所述位图数据用于引导借助 于掩模曝光的电磁辐射的投影，所述方法包括：

用矢量线来表示对象横截面的外轮廓和内轮廓；

通过以下方式为XY平面中的亚像素偏移生成位图：

以XY平面中亚像素范围中的相应偏移来变换矢量线的XY 坐标，

将偏移后的矢量线设置在位图光栅上，并且

为XY平面中的偏移计算有效像素的新分布。

2.根据权利要求1所述的方法，其中XY平面中的亚像素偏移 是相对于表示内轮廓和外轮廓的矢量线的偏移量ΔX。

3.根据权利要求1所述的方法，其中XY平面中的亚像素偏移 是相对于表示内轮廓和外轮廓的矢量线的偏移量ΔY。

4.根据权利要求1所述的方法，其中XY平面中的亚像素偏移 是相对于表示内轮廓和外轮廓的矢量线的偏移量ΔX和偏移量ΔY。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括通过投影掩模内的灰度 级改变每个像素的投影的光功率。