[发明专利]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，该压力传感器具有：

外壳；

受压单元，其封闭所述外壳的开口部，具有挠性部和所述挠性部外 侧的周缘区域，所述挠性部的一个主面为受压面；以及

双音叉型压电振子，其具有振动臂和分别与所述振动臂的两端连接 的第1基部和第2基部，并且，所述第1基部和所述第2基部的排列方 向与所述受压单元的位移方向平行，

该压力传感器的特征在于，

将所述第1基部连接到作为所述受压面的内侧的所述受压单元的中 央区域，将所述第2基部经由连接单元连接到所述内侧的所述周缘区域， 或者连接到所述外壳的内壁且所述受压单元一侧，

所述连接单元具有隔着所述振动臂从所述第2基部延伸且形成为U 字形的一对支承板，在所述U字形的鞍中与所述第2基部成为一体。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述第1基部连接到设于所述挠性部的中央的固定部。

3.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

所述第1基部经由加强部与所述连接单元连接。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的压力传感器，其特征在于，

该压力传感器具有反作用力生成部，该反作用力生成部连接到所述 受压单元，使用砝码，通过杠杆原理对所述受压单元施加与所述受压单 元承受的重力相反方向的力，

所述反作用力生成部是如下的压板结构：在力点配置所述砝码，将 作用点连接到所述双音叉型压电振子的所述第1基部或所述受压单元的 中央区域，将支点作为形成在所述连接单元上的突起而保持在所述突起 上。

5.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，

所述反作用力生成部隔着所述双音叉型压电振子形成一对。

6.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，

在所述砝码表面配设有金属膜。

7.根据权利要求1～3中的任意一项所述的压力传感器，其特征在于，

所述外壳通过金属拉伸加工而一体成型。

8.根据权利要求1～3中的任意一项所述的压力传感器，其特征在于，

所述外壳具有与所述开口部对置形成的第2开口部，所述第2开口 部由第2受压单元封闭，并且

所述受压单元和所述第2受压单元经由力传递轴连接。