[发明专利]用聚焦的粒子束加工工件的方法

权利要求书

1、一种用聚焦的粒子束加工工件以形成样本的方法，包括：

·将所述工件插入到粒子-光学装置中；

·通过将所述工件暴露在聚焦的粒子束中来加工所述工件以形成所述样本；以及

·从所述粒子-光学装置中移出所述样本，

其特征在于：

·在将所述样本从所述粒子-光学装置中移出之前在所述样本上形成钝化层；以及

·所述钝化层不是氧化层。

2、根据权利要求1所述的方法，其中通过将所述样本暴露于等离子体中形成的离子和/或基团来形成钝化层。

3、根据权利要求1所述的方法，其中通过将所述样本暴露于由气体喷射器导入的气体来形成所述钝化层。

4、根据前述权利要求中的任何一项所述的方法，其中所述钝化层是氢钝化层。

5、根据权利要求4所述的方法，其中通过暴露于包括氢的气体来形成所述钝化层，在由带电的粒子束照射时所述气体分解。

6、根据权利要求5所述的方法，其中所述带电的粒子束是聚焦的粒子束。

7、根据权利要求5所述的方法，其中所述带电的粒子束是电子束。