[发明专利]感光耐蚀膜供应装置及感光耐蚀膜供应方法

权利要求书

1、一种感光耐蚀膜供应装置，包括：

容纳感光耐蚀膜的瓶；

从该瓶接收该感光耐蚀膜并用来存储所接收到的感光耐蚀膜的捕集箱；以 及

从该捕集箱接收该感光耐蚀膜并用来供应固定量的感光耐蚀膜到排放喷嘴 以排放该感光耐蚀膜到胶片上的泵。

2、如权利要求1的感光耐蚀膜供应装置，进一步包括：

检测该泵的内部压力的压力传感器；以及

将由该泵的压力传感器测量得到的测量压力值与参考压力值进行比较以确 定在将被通过该泵供应的感光耐蚀膜中是否存在气泡的控制器。

3、如权利要求1的感光耐蚀膜供应装置，进一步包括供应管线和连接到该 泵排出口的第一排放管线。

4、如权利要求1的感光耐蚀膜供应装置，进一步包括：

布置在连接该泵和排放喷嘴的供应管线内的过滤器，该过滤器过滤包含在 该感光耐蚀膜中的异物和气泡；以及

排放由该过滤器过滤包含异物和气泡的感光耐蚀膜的第二排放管线。

5、一种感光耐蚀膜供应装置，包括：

排放感光耐蚀膜到胶片上的排放喷嘴；

供应固定量的感光耐蚀膜到该排放喷嘴内的泵；

临时存储将被从该泵供应到该排放喷嘴的感光耐蚀膜的捕集箱；

容纳存储在该捕集箱内的感光耐蚀膜的瓶；

检测在将被从该泵供应到该排放喷嘴的待处理的感光耐蚀膜内是否存在气 泡的气泡识别单元；以及

连接该泵到废弃流体箱以在该气泡识别单元检测到气泡时从该泵排放待处 理的感光耐蚀膜到该废弃流体箱的第一排放管线。

6、如权利要求5的感光耐蚀膜供应装置，其中气泡识别单元包括：

检测该泵的内部压力的压力传感器；以及

将由该泵的压力传感器测量得到的测量压力值与参考压力值进行比较以确 定在将被通过该泵供应的感光耐蚀膜中是否存在气泡，从而开启和关闭该第一 排放管线的控制器。

7、如权利要求5的感光耐蚀膜供应装置，其中将该瓶和该捕集箱连接到惰 性气体供应管线以通过该排放喷嘴排放的大量惰性气体将惰性气体填充到该瓶 和该捕集箱内。

8、一种感光耐蚀膜供应方法，包括：

临时将容纳在瓶中的感光耐蚀膜存储到捕集箱内；以及

执行泵吸取操作以使得存储在捕集箱内的感光耐蚀膜填充该泵的泵腔室； 以及执行排放操作以供应填充在该泵腔室内的感光耐蚀膜到排放喷嘴内，

其中该吸取和排放操作的执行包括将测量该泵内部压力的测量压力值与参 考压力值进行比较，以在将填充该泵的泵腔室内的感光耐蚀膜供应到排放喷嘴 内之前，检测在该泵的泵腔室内的感光耐蚀膜中是否存在气泡。

9、如权利要求8的方法，其中：在该吸取和排放操作的执行中，当在填充 在该泵的泵腔室内的感光耐蚀膜中存在气泡时，由于该泵的排放操作使得填充 在该泵腔室内的该感光耐蚀膜通过排放管线被排放。

10、如权利要求8的方法，其中通过在该吸取和排放操作执行中使用的大 量惰性气体将惰性气体填充该捕集箱内。