[发明专利]感光耐蚀膜供应装置及感光耐蚀膜供应方法

说明书

相关申请的交叉引用

这个美国非临时专利申请根据美国法典第35条119款要求享有申请日为 2008年9月10日的韩国专利申请第10-2008-0089155的优先权，其全部内容以 引用的方式结合在本申请中。

发明的背景

这里公开的本发明涉及一种用来制造半导体设备的装置，并且尤其涉及用 在用来制造半导体设备的照相平版印刷步骤中的感光耐蚀膜供应装置和感光耐 蚀膜供应方法。

半导体设备通过执行从胶片制造步骤到半导体组装步骤的很多步骤来制 造。也就是说，用来制造半导体设备的步骤包括用于在胶片上形成薄膜的薄膜 形成步骤，用于注入掺杂离子到胶片内的离子注入步骤，以及用于在胶片上形 成薄膜图案的照相平版印刷步骤。在照相平版印刷步骤中使用感光耐蚀膜来形 成图案。

将感光耐蚀膜以薄的厚度涂覆在胶片上，然后，通过曝光步骤蚀刻感光耐 蚀膜以形成感光耐蚀膜图案。通过直接并强行输入惰性气体到抗蚀刻瓶内来涂 覆该感光耐蚀膜。直接并强行输入惰性气体的方法受到由于性能、气泡和管大 小带来的排放再现性的影响。尤其地，在直接并强行输入惰性气体的方法中， 排放压力受到根据该抗蚀刻瓶内部的容量变化的影响，从而改变了排放流速和 吸回再现性。

因此，存在这样的局限性：该感光耐蚀膜不是以固定量排放，并且涂覆在 胶片上的该感光耐蚀膜不是以均匀的厚度被涂覆，以致于该胶片的出产率下降。 而且，一旦发生了该感光耐蚀膜的排放错误，很难快速地检测到处理失败，因 为不存在用来检测该处理失败的装置。

发明概述

本发明提供能够一种以固定量供应感光耐蚀膜的感光耐蚀膜供应装置和感 光耐蚀膜供应方法。

本发明也提供一种能够预先检测感光耐蚀膜是否以固定量排放以及是否存 在气泡的感光耐蚀膜供应装置和感光耐蚀膜供应方法。

本发明的实施方式提供的感光耐蚀膜供应装置包括：容纳感光耐蚀膜的瓶； 从该瓶接收该感光耐蚀膜并用来存储所接收到的感光耐蚀膜的捕集箱；以及从 该捕集箱接收该感光耐蚀膜并用来供应固定量的感光耐蚀膜到排放喷嘴以排放 该感光耐蚀膜到胶片上的泵。

在一些实施方式中，感光耐蚀膜供应装置可以进一步包括：检测该泵的内 部压力的压力传感器；以及将由该泵的压力传感器测量得到的测量压力值与参 考压力值进行比较以用来确定气泡是否存在于将被通过该泵供应的感光耐蚀膜 中的控制器。

在其他实施方式中，感光耐蚀膜供应装置可以进一步包括供应管线和连接 到该泵排出口的第一排放管线。

进一步在其它实施方式中，感光耐蚀膜供应装置可以进一步包括：布置在 连接该泵和排放喷嘴的供应管线内的过滤器，该过滤器过滤包含在该感光耐蚀 膜中的异物和气泡；以及排放由该过滤器过滤包含异物和气泡的感光耐蚀膜的 第二排放管线。

在本发明的其他实施方式中，感光耐蚀膜供应装置包括：排放感光耐蚀膜 到胶片上的排放喷嘴；供应固定量感光耐蚀膜到该排放喷嘴内的泵；临时存储 将被从该泵供应到该排放喷嘴的感光耐蚀膜的捕集箱；容纳存储在该捕集箱内 的感光耐蚀膜的瓶；检测在将被从该泵供应到该排放喷嘴的待处理的感光耐蚀 膜(standby photoresist)内是否存在气泡的气泡识别单元；以及连接该泵到废弃 流体箱以在该气泡识别单元检测到气泡时从该泵排放待处理的感光耐蚀膜到该 废弃流体箱的第一排放管线。

在一些实施方式中，气泡识别单元可以包括：检测该泵的内部压力的压力 传感器；以及将由该泵的压力传感器测量得到的测量压力值与参考压力值进行 比较以用来确定气泡是否存在于将被通过该泵供应的感光耐蚀膜中，从而开启 和关闭该第一排放管线的控制器。

在其他实施方式中，可以将该瓶和该捕集箱连接到惰性气体供应管线以通 过该排放喷嘴排放的大量惰性气体将惰性气体填充到该瓶和该捕集箱内。

进一步在本发明的其它实施方式中，感光耐蚀膜供应方法包括：临时将容 纳在瓶中的感光耐蚀膜存储到捕集箱内；以及执行用存储在捕集箱内的感光耐 蚀膜填充该泵腔室的泵吸取操作；以及执行供应填充在该泵腔室内的感光耐蚀 膜到排放喷嘴内的排放操作，其中该吸取和排放操作的执行包括将测量该泵内 部压力的测量压力值与参考压力值进行比较，以在将填充该泵的泵腔室内的感 光耐蚀膜供应到排放喷嘴内之前，检测在该泵的泵腔室内的感光耐蚀膜中是否 存在气泡。