[发明专利]驱动装置及固晶机

权利要求书

1.一种驱动装置，用来达成快速及准确的对象移动，该驱动装置包含：

驱动装置本体；

驱动负载板，该驱动负载板设置于该驱动装置本体的一侧；

第一驱动模块，该第一驱动模块装设于该驱动装置本体上，且带动该驱动负载板产生第一位移；以及

第二驱动模块，该第二驱动模块装设于该驱动装置本体上，且带动该驱动负载板产生第二位移；

其中，该第一位移的位移速度大于该第二位移，且第二位移的位移精度大于第一位移。

2.如权利要求1所述的驱动装置，其中该第一驱动模块包括驱动单元及挠性传动件，该挠性传动件通过该驱动单元产生该第一位移。

3.如权利要求2所述的驱动装置，其中，该第一驱动模块还包括至少两转轴，且该输送带贴附于该两转轴的其中一个，且该两转轴的其中一个枢接于该驱动单元，当该驱动单元驱动该转轴转动时，该转轴带动该输送带产生该第一位移。

4.如权利要求1所述的驱动装置，其中，该第二驱动模块为线性马达，且该第二驱动模块包括定子单元及动子单元，该动子单元设置于该定子单元的内侧。

5.如权利要求4所述的驱动装置，其中，该动子单元与该驱动负载板连结，且该定子单元驱动该动子单元移动时，使该动子单元带动该驱动负载板产生该第二位移。

6.如权利要求1所述的驱动装置，其中，该驱动负载板具有连接部，该连接部与该挠性传动件连接，且该驱动单元驱动该挠性传动件移动时，该挠性传动件带动该驱动负载板产生该第一位移。

7.如权利要求1所述的驱动装置，其中，该第一位移平行于该第二位移。

8.一种固晶机，其包含：

平台；

驱动装置，设置于该平台上，其包含；

驱动装置本体；

驱动负载板，该驱动负载板设置于该驱动装置本体的一侧；

第一驱动模块，该第一驱动模块装设于该驱动装置本体上，且带动该驱动负载板产生第一位移；以及

第二驱动模块，该第二驱动模块装设于该驱动装置本体上，且带动该驱动负载板产生第二位移；

固晶臂，该固晶臂设置于该驱动负载板上；以及

量测单元，该量测单元设置于该驱动装置本体的一侧，且该量测单元量测该驱动负载板的位移；

其中，该第一位移的位移速度大于该第二位移，且第二位移的位移精度大于第一位移。

9.如权利要求8所述的固晶机，其中，该第一驱动模块包括驱动单元及挠性传动件，该挠性传动件通过该驱动单元产生第一位移。

10.如权利要求9所述的固晶机，其中，该第一驱动模块更可以包括至少两转轴，且该挠性传动件贴附于该两转轴的其中一个，而该两转轴的其中一个枢接于该驱动单元，当该驱动单元驱动该转轴转动时，该转轴带动该挠性传动件产生该第一位移。

11.如权利要求8所述的固晶机，其中，该第二驱动模块为线性马达，且该第二驱动模块包括定子单元及动子单元，该动子单元设置于该定子单元的内侧。

12.如权利要求11所述的固晶机，其中，该动子单元与该驱动负载板连结，且该定子单元驱动该动子单元移动时，使该动子单元带动该驱动负载板产生该第二位移。

13.如权利要求8所述的固晶机，其中，该驱动负载板具有连接部，该连接部与该挠性传动件连接，且该驱动单元驱动该挠性传动件移动时，该挠性传动件带动该驱动负载板产生该第一位移。

14.如权利要求8所述的固晶机，其中，该量测单元为光学尺。