[发明专利]驱动装置及固晶机有效
申请号: | 200910163324.6 | 申请日: | 2009-08-13 |
公开(公告)号: | CN101996915A | 公开(公告)日: | 2011-03-30 |
发明(设计)人: | 卢彦豪;古乃铭 | 申请(专利权)人: | 威控自动化机械股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/50;H01L33/00 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 王青芝;郭鸿禧 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 驱动 装置 固晶机 | ||
技术领域
本发明涉及一种驱动装置及固晶机,可达到于快速取放、精密定位的驱动装置。
背景技术
目前,随着发光二极管的技术发展,使得发光二极管广泛应用于照明、信号显示等日常生活领域上。其中发光二极管能够大量生产,固晶技术的好坏影响着发光二极管成品的质量,如此一来,固晶技术便成为发光二极管质量关键技术其中之一。为了加速发光二极管的固晶速度并增加发光二极管的固晶良率,因此发展具有可快速且准确定位的特点的固晶机为目前产界的课题。
以现有技术的固晶机而言,单轴方向的位移通常以单一驱动装置如线性马达、马达与滚珠导螺杆或是马达与挠性传动件来驱动固晶臂移动。
驱动装置采用线性马达的特点在于可配合光学尺达到快速、精确控制目标物的移动位置,因此对于需要精确定位的固晶机,线性马达为符合固晶机的需求。但受到线性马达本身特性的限制,负载重量比滚珠导螺杆低,在有荷重的情况下无法达到较高的直线运动的需求,因此限制了固晶时的位移速度而无法进一步达到更高的生产效率。
再者,驱动装置采用马达与导螺杆的特点在于负载重量大、精度高,但在位移速度上较线性马达为慢,因此其生产效率跟驱动装置采用线性马达的固晶机相比更不理想。
另外,驱动装置采用马达与挠性传动件的特点在于,其位移速度比采用线性马达以及马达与滚珠导螺杆的固晶机为快,但精度与上述两者相比是最差的。
发明内容
鉴于上述现有技术的问题,本发明的目的就是提供一种驱动装置及固晶机,用来快速及准确的对象移动。
根据本发明的目的,提出一种驱动装置,包含驱动装置本体、第一驱动模块、第二驱动模块以及驱动负载板。驱动负载板设置于驱动装置本体的一侧,而第一驱动模块与第二驱动模块装设于驱动装置本体上,且第一驱动模块与第二驱动模块分别带动驱动负载板以产生第一位移与第二位移。其中,第一位移的位移速度大于第二位移,用来做为长距离位置的移动,且第二位移的位移精度大于第一位移,用来做第一位移到定位后,短距离的微补正,以得到良好的精度。
其中,第一驱动模块包括驱动单元及挠性传动件,挠性传动件可通过驱动单元产生第一位移。
其中,驱动单元为马达。
其中,第一驱动模块更包括至少两转轴,且输送带贴附于两转轴的其中一个,且两转轴的其中一个枢接于驱动单元,当驱动单元驱动转轴转动时,转轴带动输送带产生第一位移。
其中,第二驱动模块为线性马达,包括定子单元及动子单元,动子单元设置于定子单元的内侧。
其中,动子单元与驱动负载板连结,在定子单元驱动动子单元移动时,使动子单元带动驱动负载板产生第二位移。
其中,定子单元为永久磁铁,且动子单元为线圈。
其中,驱动负载板具有连接部,连接部与挠性传动件连接,且驱动单元驱动挠性传动件移动时,挠性传动件带动驱动负载板产生第一位移。
其中,第一位移平行于第二位移。
根据本发明的另一目的,提出一种固晶机,其包括平台、驱动装置、固晶臂以及量测单元。驱动装置设置于平台上,其包括驱动装置本体、驱动负载板、第一驱动模块以及第二驱动模块。驱动负载板设置于驱动装置本体的一侧,而第一驱动模块与第二驱动模块装设于驱动装置本体上,且第一驱动模块与第二驱动模块分别带动驱动负载板以产生第一位移与第二位移。固晶臂设置于驱动负载板上。量测单元设置于驱动装置本体的一侧,且量测单元量测驱动负载板的位移。其中,第一位移的位移量大于第二位移,且第二位移的位移精度大于第一位移。
其中,该量测单元为光学尺。
综上所述,依本发明的可切换不同速度的固晶机,其可具有一个或多个下述优点:
(1)此固晶机可通过不同驱动模块以切换不同工作速度,藉此可加速驱动装置并提升固晶机的效率,且不会降低固晶机定位的精度。
(2)此固晶机具有不同驱动模块,因此其中一驱动模块故障时,另一驱动模块亦可继续作业,可增进固晶作业的可靠度。
附图说明
图1是根据本发明的实施例的驱动模块的示意图;以及
图2是根据本发明的实施例的固晶机示意图,
其中,1表示固晶机,100表示驱动装置,110表示驱动装置本体,120表示第一驱动模块,122表示驱动单元,124表示挠性传动件,126表示转轴,130表示第二驱动模块,132表示定子单元,134表示动子单元,140表示驱动负载板,142表示连接部,200表示平台,300表示固晶臂,400表示量测单元,以及500表示光学读头。
具体实施方式
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于威控自动化机械股份有限公司,未经威控自动化机械股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910163324.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种USB设备的保护测试装置
- 下一篇:低功耗单相费控智能电能表
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造