[发明专利]半导体器件有效
申请号: | 200910163448.4 | 申请日: | 2009-08-13 |
公开(公告)号: | CN101651152A | 公开(公告)日: | 2010-02-17 |
发明(设计)人: | 北岛裕一郎 | 申请(专利权)人: | 精工电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/36;H01L23/60 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 朱海煜;徐予红 |
地址: | 日本千叶*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体器件 | ||
1.一种半导体器件,包括:
在p型半导体区域的表面上形成的栅极绝缘膜;
设置在所述栅极绝缘膜上的栅电极;
设置在所述p型半导体区域的表面的部分上的LOCOS氧化物膜, 所述部分位于所述栅电极的两端;
设置在所述LOCOS氧化物膜中的一个LOCOS氧化物膜下面的p 型沟道阻止扩散层;
设置成与所述p型沟道阻止扩散层接触的第一n型高浓度扩散 层;
设置成与所述p型沟道阻止扩散层和所述第一n型高浓度扩散层 接触的p型高浓度扩散层;
设置在所述LOCOS氧化物膜中的另一个LOCOS氧化物膜下面 的n型沟道阻止扩散层;以及
设置成与所述n型沟道阻止扩散层接触的第二n型高浓度扩散 层。
2.如权利要求1所述的半导体器件,其中所述第一n型高浓度 扩散层与所述p型沟道阻止扩散层仅在所述第一n型高浓度扩散层的 一侧接触,并且所述第一n型高浓度扩散层与所述p型高浓度扩散层 在所述第一n型高浓度扩散层的另一侧接触,所述另一侧不与所述p 型沟道阻止扩散层接触。
3.如权利要求1所述的半导体器件,还包括设置在与所述n型 沟道阻止扩散层相邻的所述第二n型高浓度扩散层周围的n型阱扩散 层。
4.如权利要求1所述的半导体器件,其中所述p型高浓度扩散 层、所述第一n型高浓度扩散层和所述栅电极互相电连接。
5.如权利要求4所述的半导体器件,其中:
所述p型高浓度扩散层、所述第一n型高浓度扩散层和所述栅电 极连接到电势Vss;并且
所述第二n型高浓度扩散层连接到电源端子Vdd。
6.如权利要求4所述的半导体器件,其中:
所述p型高浓度扩散层、所述第一n型高浓度扩散层和所述栅电 极连接到电势Vss;并且
所述第二n型高浓度扩散层连接到输入/输出端子。
7.如权利要求4所述的半导体器件,其中:
所述p型高浓度扩散层、所述第一n型高浓度扩散层和所述栅电 极连接到输入/输出端子;并且
所述第二n型高浓度扩散层连接到电源端子Vdd。
8.一种半导体器件,其包括:
设置在p型半导体区域的表面上的栅极绝缘膜;
设置在所述栅极绝缘膜上的栅电极;
设置在所述p型半导体区域的表面的部分上的LOCOS氧化物膜, 所述部分位于所述栅电极的两端;
设置在所述LOCOS氧化物膜中的一个LOCOS氧化物膜下面的p 型沟道阻止扩散层;
设置成以致与所述p型沟道阻止扩散层接触的p型高浓度扩散 层;
设置成以致被所述p型高浓度扩散层以平面方式包围的第一n型 高浓度扩散层;
设置在所述LOCOS氧化物膜中的另一个LOCOS氧化物膜下面 的n型沟道阻止扩散层;以及
设置成以致与所述n型沟道阻止扩散层相邻的第二n型高浓度扩 散层。
9.如权利要求8所述的半导体器件,还包括设置在与所述n型 沟道阻止扩散层相邻的所述第二n型高浓度扩散层周围的n型阱扩散 层。
10.如权利要求8所述的半导体器件,其中所述p型高浓度扩散 层、所述第一n型高浓度扩散层和所述栅电极互相电连接。
11.如权利要求10所述的半导体器件,其中:
所述p型高浓度扩散层、所述第一n型高浓度扩散层和所述栅电 极连接到电势Vss;并且
所述第二n型高浓度扩散层连接到电源端子Vdd。
12.如权利要求10所述的半导体器件,其中:
所述p型高浓度扩散层、所述第一n型高浓度扩散层和所述栅电 极连接到电势Vss;并且
所述第二n型高浓度扩散层连接到输入/输出端子。
13.如权利要求10所述的半导体器件,其中:
所述p型高浓度扩散层、所述第一n型高浓度扩散层和所述栅电 极连接到输入/输出端子;并且
所述第二n型高浓度扩散层连接到电源端子Vdd。
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