[发明专利]浮起运送装置以及浮起单元

权利要求书

1.一种浮起运送装置，在使基板浮起的状态下向运送方向进行运送， 其特征在于，具有：

支承框；

运送单元，其设置在所述支承框上，并将基板相对于所述支承框向运 送方向运送；

多个浮起单元，沿着所述运送方向以及与所述运送方向正交的运送宽 度方向设置在所述支承框上，并利用气体的压力使基板浮起；以及

腔室，其在上表面形成有多个贯通孔，

所述浮起单元分别具有：在上表面形成有喷出气体的喷嘴的浮起单元 主体；设置在该浮起单元主体的下表面且内部与所述浮起单元主体的内部 连通的浮起单元脚，

在上述腔室的各贯通孔上设置有上述浮起单元，

所述浮起单元脚的所述运送方向的最大外形尺寸比所述浮起单元主 体的所述运送方向的最大外形尺寸小，

各浮起单元脚通过所述腔室与安装于所述腔室的气体供给源连通。

2.如权利要求1所述的浮起运送装置，其特征在于，各浮起单元构 成为：侧视形状为由所述浮起单元主体和所述浮起单元脚形成的T字形 状。

3.如权利要求1所述的浮起运送装置，其特征在于，各浮起单元构 成为：所述浮起单元脚的所述运送宽度方向的最大外形尺寸比所述浮起单 元主体的所述运送宽度方向的最大外形尺寸小，且主视形状为由所述浮起 单元主体和所述浮起单元脚形成的T字形状。

4.如权利要求1所述的浮起运送装置，其特征在于，在所述运送方 向上邻接的所述浮起单元之间，还具有遮蔽板。

5.如权利要求4所述的浮起运送装置，其特征在于，所述遮蔽板相 对于所述浮起单元能够拆装。