[发明专利]浮起运送装置以及浮起单元

说明书

技术领域

本发明涉及在使玻璃基板等基板浮起的状态下向运送方向进行运送的浮起运送装置、以及利用空气等气体压力使基板浮起的浮起单元。 

背景技术

近年，在无尘运送的领域中，关于浮起运送装置进行了各种开发，作为浮起运送装置的现有技术具有在下述专利文献1中公开的发明。 

现有技术的浮起运送装置具备支承框，在该支承框上设置有将基板向运送方向运送的运送单元。另外，在支承框上，利用空气的压力使基板浮起的多个浮起单元沿着运送方向以及与该运送方向正交的运送宽度方向设置。在各浮起单元的上表面，形成有喷出空气的喷嘴。在此，各浮起单元与风扇等的空气供给源连通。 

因此，通过空气供给源将空气供给到各浮起单元内部并从各浮起单元的喷嘴喷出空气，并且适当地使运送单元工作。由此，在通过浮起运送装置使基板浮起的状态下，能够将基板向运送方向运送。 

专利文献1：日本国特开2006-182563号公报 

一般地，为了充分地确保多个浮起单元的浮起性能即浮起运送装置整体的浮起性能，必须使邻接(adjacent)的浮起单元的间隙的上侧部分(上部间隙)狭窄。 

今后，作为运送对象的基板有日益大型化的倾向。在运送大型化的基板的情况下，使邻接的浮起单元的上部间隙狭窄时，在邻接的浮起单元之间形成的通路的截面积变小，从浮起单元的喷嘴喷出的空气难以逃逸到基板的外侧。由此，从下方向基板的中央部作用的空气的压力变高，基板发生中央部(基板的中央部)隆起的变形。随之，基板的端部下沉，基板的端部和浮起单元等发生干涉，并且容易发生基板的损伤。 

也就是，在充分地确保浮起运送装置整体的浮起性能的同时运送大型化的基板的情况下，存在如下问题：避免基板的端部和浮起单元等之间的干涉来抑制基板的损伤是困难的。 

发明内容

本发明的目的是为解决前述问题提供一种新结构的浮起运送装置以及浮起单元。 

本发明的第1发明一种浮起运送装置，在使基板浮起的状态下向运送方向进行运送，具有：支承框；运送单元，其设置在所述支承框上且将基板向运送方向运送；多个浮起单元，沿着所述运送方向以及与所述运送方向正交的运送宽度方向设置在所述支承框上，并利用气体的压力使基板浮起。所述浮起单元分别具有：在上表面形成有喷出气体的喷嘴的浮起单元主体；设置在该浮起单元主体的下表面的、内部与所述浮起单元主体的内部连通的浮起单元脚。所述浮起单元脚的所述运送方向的最大外形尺寸比所述浮起单元主体的所述运送方向的最大外形尺寸小。各浮起单元脚与供给气体的气体供给源连通。 

此外，在本申请的权利要求书以及说明书中，所谓“设置”不仅限于直接地设置的情况，也包含通过支架等其他部件间接地设置的情况。另外，所谓“气体”包含空气、氩气气体、窒素气体等。 

根据第1发明，通过所述气体供给源分别将气体供给到各浮起单元脚的内部，并从各浮起单元主体的所述喷嘴分别喷出空气，并且适当地使所述运送单元适当工作。由此，在使基板浮起的状态下，能够将基板向运送方向运送(所述浮起运送装置的一般作用)。 

各浮起单元具有：所述浮起单元主体；设置在所述浮起单元主体的下表面的、所述运送方向的最大外形尺寸比所述浮起单元主体的所述运送方向的最大外形尺寸小的所述浮起单元脚。由此，即使在所述运送方向上邻接的所述浮起单元主体的间隔[即，在所述运送方向上邻接的所述浮起单元的间隙的上侧部分(上部间隙)]狭窄，在所述运送方向上邻接的所述浮起单元脚的间隔也能够扩大。因此，能够较大地确保在所述运送方向上 邻接的所述浮起单元之间形成的通路的截面积，并能够容易使从多个所述浮起单元主体(浮起单元)的所述喷嘴喷出的气体逃逸到基板的外侧(所述浮起运送装置的特有作用)。 

本发明的第2发明是一种浮起单元，利用气体的压力使基板浮起，具有：在上表面形成有喷出气体的喷嘴的浮起单元主体；设置在所述浮起单元主体的下表面的、内部与所述浮起单元主体的内部连通的浮起单元脚，所述浮起单元脚的单元长度方向的最大外形尺寸比所述浮起单元主体的所述单元长度方向的最大外形尺寸小。 

根据第2发明，准备多个所述浮起单元，作为结构要素使用第1发明的所述浮起运送装置的情况下，也能够发挥与所述浮起运送装置的特有作用同样的作用。 

发明的效果