[发明专利]显示装置的制造方法有效
申请号: | 200910165266.0 | 申请日: | 2004-11-18 |
公开(公告)号: | CN101635263A | 公开(公告)日: | 2010-01-27 |
发明(设计)人: | 山下晃央;福本由美子;后藤裕吾 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/82;H01L27/32;G02F1/1333 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 李 进;李连涛 |
地址: | 日本神奈*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 显示装置 制造 方法 | ||
1.一种制造发光装置的方法,包括:
第一步,在第一衬底上顺序形成第一金属膜、第一氧化物膜和光 学滤光片,利用第一粘性材料将第二衬底贴到该光学滤光片的表面, 使该第二衬底通过所述光学滤光片而面向第一衬底,利用第一可剥离 的粘合剂将第一支持介质贴到第二衬底的表面,并将所述第一金属膜 与第一氧化物膜分离;
第二步,在第三衬底上顺序形成第二金属膜和第二氧化物膜,在 第二氧化物膜上形成薄膜晶体管,在薄膜晶体管上形成发光元件,利 用第二粘性材料将第四衬底贴至发光元件,并将所述第二金属膜与第 二氧化物膜分离;和
第三步,在第一和第二步之后利用第三粘性材料将所述第一氧化 物膜贴到所述第二氧化物膜,并从第二衬底去掉所述第一可剥离的粘 合剂和第一支持介质,
其中所述第二衬底和第四衬底是塑料、偏振板、抗反射膜、视角 增加膜、亮度提高膜、棱镜片中的任何材料。
2.根据权利要求1所述的制造发光装置方法,其中所述第一衬 底和第三衬底是石英衬底、陶瓷衬底、硅衬底和金属衬底中的任何材 料。
3.根据权利要求1所述的制造发光装置方法,其中所述光学滤 光片为彩色滤光片或色彩转换滤光片。
4.根据权利要求1所述的制造发光装置方法,其中所述第一氧 化物膜或第二氧化物膜由氧化硅、氧氮化硅或金属氧化物形成。
5.根据权利要求1所述的制造发光装置方法,其中所述第一支 持介质是石英衬底、金属衬底或陶瓷衬底。
6.根据权利要求1所述的制造发光装置方法,其中所述第一可 剥离的粘合剂是反应性剥离粘性材料、热剥离粘性材料、光剥离粘性 材料、厌氧剥离粘性材料,或者两面都具有用上述一种或多种粘性材 料制成的粘性层的元件。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社半导体能源研究所,未经株式会社半导体能源研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910165266.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:晶粒与晶片间三维互连的接合结构与方法
- 下一篇:显示设备、显示方法和电子设备
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造