[发明专利]十字吹扫阀和容器组件

权利要求书

1.一种用于存储和分配高纯度工艺化学制剂的容器和阀-十字 吹扫组件，包含；

(A)用于容纳所述高纯度工艺化学制剂的容器，其具有用于分配 所述高纯度工艺化学制剂以及引入载气以辅助分配所述高纯度工艺 化学制剂的进口和出口；

(B)阀-十字吹扫配件，其包含；

(i)第一阀；和

(ii)第二阀，

上述阀中的一个连接到所述容器的进口，并且上述阀的另一个连 接到上述容器的出口；以及，

(iii)在所述第一和第二阀之间的十字吹扫连接，其在所述 两阀之间提供了与所述容器独立的流体流动连接；

其中，每个阀具有；

(a)到所述容器的第一孔；

(b)到用于所述组件外部的流体流动连接的导管的第二孔；和，

(c)到所述十字吹扫连接的第三孔，其在所述阀中与所述第二孔 在轴向间隔第一距离；

(d)阀罩；和

(e)阀杆，其能够在所述阀罩中向如下两个位置之一移动：(1) 容器打开和(2)十字吹扫打开-容器关闭；其中，所述阀杆具有三个阀 密封表面：

(I)第一阀密封表面，其被配置来相对第一阀座密封以关闭到所 述容器的第一孔；

(II)其横截面相对于所述主阀杆横截面有所放大的第二阀密封 表面，其被配置以相对阀罩的内壁密封，而使所述第二孔对第一孔关 闭；和，

(III)其横截面相对于所述主阀杆横截面有所放大的第三阀密 封表面，其被配置以相对所述阀罩的内壁密封，从而与所述第二阀密 封表面在所述十字吹扫连接的第三孔和所述第二孔之间形成流道，其 中所述第二阀密封表面在所述阀杆上与所述第三阀密封表面的轴向 距离至少与在(c)中所述的第一距离一样大，形成(III)中所述的 流道。

2.权利要求1所述的组件，其中所述阀杆在所述阀杆邻近所述 第一孔的端部上具有破坏式密封穿刺锥。

3.权利要求1所述的组件，其中所述阀杆螺纹啮合到所述阀罩， 以通过所述阀杆在所述阀罩中的旋转而在所述阀罩内轴向地移动到 (1)容器打开和(2)十字吹扫打开-容器关闭的位置。

4.权利要求1所述的组件，其中所述阀罩结构材料选自不锈钢、 塑料、聚四氟乙烯、四氟乙烯和全氟烷氧基树脂的共聚物、聚偏二氟 乙烯、聚氯三氟乙烯、聚醚-醚酮或者聚酰亚胺、Monel^tm金属合金、 Hastelloy^tm金属合金、Incoloy^tm金属合金；黄铜、镍、铜、玻璃、 石英及其组合。

5.权利要求1所述的组件，其中所述阀杆结构材料选自不锈钢、 塑料、聚四氟乙烯、四氟乙烯和全氟烷氧基树脂的共聚物、聚偏二氟 乙烯、聚氯三氟乙烯、聚醚-醚酮或者聚酰亚胺、Monel^tm金属合金、 Hastelloy^tm金属合金、Incoloy^tm金属合金；黄铜、镍、铜、玻璃、 石英及其组合。

6.权利要求1所述的组件，其中所述容器结构材料选自不锈钢、 塑料、聚四氟乙烯、Monel^tm金属合金、Hastelloy^tm金属合金、Incoloy^tm金属合金；黄铜、镍、铜、玻璃、石英和其组合。

7.权利要求1所述的组件，其中所述容器进口具有汲取管，其 伸入到所述容器之中并且其末端接近所述容器的底部。

8.权利要求1所述的组件，其具有水平传感机构，所述机构能 够指示在所述容器中高纯度工艺化学制剂的水平。

9.权利要求1所述的组件，其中所述第二孔(9)的开口和第三 孔的开口的轴向中心沿所述阀罩的轴向长度的间距与所述第二阀密 封表面与第三阀密封表面在所述阀杆上彼此最接近的边缘的距离相 等。

10.权利要求7所述的组件，其中所述第一阀在所述第一阀的第 一孔处与所述容器进口相连，并且所述第一阀的第二孔与载气源相 连。