[发明专利]十字吹扫阀和容器组件

说明书

相关申请的交叉引用

本专利申请要求2008年8月22日提交的美国临时专利申请 No.61/091,155的权益。

技术领域

本发明涉及一种用于存储和分配高纯度工艺化学制剂的容器和 阀-十字吹扫组件。

发明背景

半导体制造工业中在标准温度和压力，例如环境条件下的 存储和分配中使用一系列在固相、液相和气相中的化学制剂。基于它们 的化学结构，以及它们是否为其纯净的形式或者被包含在溶剂中，这些 化学制剂可以具有在很大程度上变化的蒸气压和粘度。

半导体制造工业典型地通过将化学制剂从不同尺寸和容量 的容器分配到反应室之中来使用所述化学制剂，其中所述化学制剂被用 于制造半导体装置例如集成电路、存储装置以及光电装置。

无论所述化学制剂容器的尺寸，在一些时间点所述半导体 制造者会替换化学制剂耗尽的化学制剂容器，或者移除化学制剂容器用 于其它的操作要求。

在半导体制造中化学制剂容器的移除或替换并不是不重要 的动作。这些化学制剂典型地要求在极高纯度下并且通常不能曝露在空 气或不受控制的外部条件中，这样的外部条件可能会在所述化学制剂容 器的移除或替换过程中影响所述化学制剂的纯度。

此外，这些化学制剂常常可能会不利地与空气中的水分和/ 或氧气发生反应。这样的反应可能会导致副产品杂质的污染，其可能堵 塞所述容器或输送管线并且引起锈蚀或污染或两者。

半导体制造工业一直在寻找满足上面所述需要的容器和输送设 备，同时其要在结构上紧凑简单并且在使用所述容器的反应器附近具 有小的印迹。如将在后面更充分描述的，本发明满足了这些长久以来 的需求。

发明内容

本发明是一种用于存储和分配高纯度工艺化学制剂的容器 和阀-十字吹扫组件(container and valve-crosspurge assembly)， 包含；

(A)用于容纳高纯度工艺化学制剂的容器，其具有用于分配高 纯度工艺化学制剂和引入载气以辅助分配所述高纯度工艺化学制剂 的进口和出口；

(B)阀-十字吹扫配件，其包含；

(i)第一阀；和

(ii)第二阀，

上述阀中的一个连接到所述容器的进口，且上述阀中的另一个连 接到上述容器的出口；并且

(iii)在所述第一和第二阀之间的十字吹扫连接 (crosspurg econnection)，其提供了在所述两阀之间与所述容器 相独立的流体流动连接；

其中，每个阀具有；

(a)到所述容器的第一孔；

(b)到用于所述组件外部的流体流动连接的导管的第二孔；以 及，

(c)到所述十字吹扫连接的第三孔，其在所述阀中与所述第二孔 在轴向间隔第一距离；

(d)阀罩；以及

(e)阀杆，其能够在所述阀罩中向以下两个位置之一移动：(1) 容器打开以及(2)十字吹扫打开-容器关闭；其中，所述阀杆具有三个 阀密封表面：

(I)第一阀密封表面，其被配置以相对第一阀座密封，来关闭到 所述容器的第一孔；

(II)其横截面相对于所述主阀杆横截面有所放大的第二阀密封 表面，其被配置以相对阀罩的内壁密封，从而使所述第二孔对第一孔 关闭；以及，

(III)其横截面相对于所述主阀杆横截面有所放大的第三阀密 封表面，其被配置以相对所述阀罩的内壁密封，从而与所述第二阀密 封表面在所述十字吹扫连接的第三孔和所述第二孔之间形成流道，其 中在所述阀杆上所述第二阀密封表面与所述第三阀密封表面的轴向 间距至少与所述第一距离(如在(c)中所述的)一样大，以便形成 所述流道(如在(III)中所述的)。

在一个替代实施方案中，所述阀杆仅仅具有两个密封表 面，排除了所述第一密封表面。

附图说明

图1A和1B是本发明实施方案的透视图，其说明了一种具有 阀-十字吹扫配件的高纯度化学制剂容器，所述阀-十字吹扫配件是沿直 线定位或″U″形定位的，其中阀的出口分别为彼此面向相反的方向或面 向相同的方向。

图2是图1所述容器和配件的剖视图。