[发明专利]基板处理装置及在基板处理装置中使用的基板搬运装置

说明书

技术领域

本发明涉及对多张基板一起进行处理的基板处理装置以及该基板处理装置具有的基板搬运装置。成为处理或者搬运对象的基板包括例如半导体晶片、液晶显示装置用基板、等离子显示器用基板、FED(Field Emission Display：场发射型显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板等。 

背景技术

在使用药液对半导体晶片等基板实施处理的基板处理装置中，存在对多张基板一起进行处理的批式的基板处理装置。在JP特开平11-354604号公报中公开了批式的基板处理装置的一个例子。该基板处理装置具有传送器装载部、水平运载机械手、姿势变换机构、推动器(pusher)、主搬运机构和基板处理部。 

传送器装载部装载有传送器(容置容器)，该传送器将多张基板保持为以水平姿势层叠在垂直方向上的状态。 

水平运载机械手由垂直多关节臂式的搬运机械手构成，能够使多关节臂伸缩并且绕着铅垂轴线旋转。由此，水平运载机械手使多关节臂朝向传送器，相对于该传送器搬入搬出以水平姿势层叠在垂直方向上的多张基板，而且，水平运载机械手使多关节臂朝向姿势变换机构，相对于该姿势变换机构交接以水平姿势层叠在垂直方向上的多张基板。 

水平运载机械手具有能够在多关节臂上装拆的批次手部和单张手部。批次手部用于一起搬运多张基板，单张手部用于一张一张地搬运基板。手部的交换通过水平运载机械手接近手部交换部来进行。在手部交换部具有3个手部保持架，分别用于保持批次手部、未处理基板用的单张手部和处理后基板的单张手部。对于水平运载机械手，例如在取下批次手部而安装单张手部时，将批次手部容置在批次手部用手部保持架，并安装容置在单张手部用手部保持架中的单张手部。由此，不需要人手就能够自动地交换手部。 

姿势变换机构用于使多张层叠的基板一起在水平姿势与垂直姿势间进行姿势变换。 

推动器具有能够上下运动和水平移动的保持架，在与姿势变换机构间一起交接垂直姿势的多张基板，以及在与主搬运机构间一起交接垂直姿势的多张基板。保持架以间距为姿势变换机构保持的多张基板的间距的一半的距离保持基板。例如，在从姿势变换机构交给保持架25张基板后，保持架在沿着基板层叠方向的水平方向上移动仅微小距离。在该状态下，从姿势变换机构交给保持架另外的25张基板。后来交给的25张基板进入之前交给的25张基板之间，从而在保持架上形成由共计50张基板构成的一个批次。这样地将多个基板组进行组合而形成一个批次的情况称为批次组合。在将基板从推动器交给姿势变换机构时，保持在保持架上的50张基板中的25张交给姿势变换机构，在该25张基板姿势变换为水平姿势后，交给水平运载机械手。然后，保持架上剩余的25张基板交给姿势变换机构，在姿势变换为水平姿势后，由水平运载机械手送出。这样，50张基板分为各25张的两个基板组。这样，将形成一个批次的多张基板分离为多个基板组的情况称为批次解除。 

主搬运机构具有将形成一个批次的多张基板保持为垂直姿势的基板卡盘，通过使该基板卡盘在水平方向上移动，主搬运机构使构成一个批次的多张基板搬入/搬出基板处理部。为了清洗基板卡盘，例如，在推动器与主搬运机构间的基板交接位置的下方设置有卡盘清洗单元。 

基板处理部具有沿着主搬运机构的移动方向配置的多个处理部。在处理部具有药液槽、水洗槽和干燥部。药液槽用于使垂直姿势的多张基板浸渍在槽内存储的药液中，来对多张基板一起实施药液处理。水洗槽用于使垂直姿势的多张基板浸渍在槽内存储的纯水(去离子水)中，来对多张基板一起实施水洗(冲洗)处理。干燥部用于对多张基板一起实施供给有机溶剂(例如，异丙醇)或者甩落液体成分的处理。 

在上述现有技术的基板处理装置中，从推动器到主搬运机构的基板搬运路径是一个系统，因此，在向主搬运机构送入未处理基板时，不能从主搬运机构向推动器送出处理后基板，另外，在送出处理后基板时，不能送入未处理基板。而且，在将未处理基板送入主搬运机构时，需要在推动器的保持架上进行批次组合动作，因此直至送出处理后基板之前，主搬运机构往往不得 不长时间待机。 

考虑追加推动器，一个推动器用于从姿势变换机构至主搬运机构的去路搬运，另一个推动器用于从主搬运机构至姿势变换机构的回路搬运。但是，若形成这样的结构，不免要增加装置的占用面积(占用空间)。 

发明内容

本发明的一个目的在于提供能够抑制装置的占用面积，同时能够提高基板处理速度的基板处理装置。