[发明专利]激光修复装置及激光修复方法

说明书

技术领域

本发明涉及向产品表面上的缺陷照射激光光束来修复缺陷的技术， 其中，所述产品是通过在基板的表面上层叠一层以上用于形成电路的一 种以上的物质而制造的。

背景技术

在FPD(Flat Panel Display：平板显示器)的制造工序中，例如，利 用使用多个光掩模的光刻工艺反复进行图形加工，同时利用蚀刻技术和/ 或溅射技术在玻璃基板上形成电极图形和/或TFT(Thin Film Transistor： 薄膜晶体管)。尤其是液晶显示器(LCD：Liquid Crystal Display)的TFT 基板，使用形成栅极总线(gate bus line)层、绝缘膜层、非晶硅层、源 极-漏极总线(source-drain bus line)层、绝缘膜层、透明电极层的4到 5个掩模，来制造TFT基板。除了液晶显示器外，FPD还包括PDP(Plasma Display Panel：等离子显示器)、SED(Surface-conduction Electron-emitter Display：表面传导电子发射显示器)等各种类型。

并且，在基板上层叠各种物质制造的产品自身有时也被称为“基板”、 “玻璃基板”、“FPD玻璃基板”等。

以下，为了划分还没有层叠任何物质的作为基底的玻璃基板、和层 叠了各种物质并形成了电极图形和TFT的产品，把前者称为“玻璃基板”， 把后者称为“FPD基板”。另外，用语“产品”包括制造中的半成品和完成制 造后的完成品。

在FPD的制造工序中，对FPD基板进行缺陷的检查和修复。近年来， 伴随FPD的大型化，修复在各个制造工序中产生的成为动作不良的原因 的缺陷而提高成品率成为重要课题。

例如，关于成为动作不良的原因的缺陷，有布线彼此连接导致的“短 路缺陷”、布线在中途断线的“开路缺陷”。并且，在成形抗蚀图形时有可 能产生的成为“短路缺陷”的原因的抗蚀图形的形状不良，也是作为修复 对象的缺陷。另外，附着在FPD基板表面上的微粒(particle)和抗蚀剂 (resist)等异物，也是应该通过去除来修复的缺陷的例子。缺陷的修复 方法根据缺陷的类型而不同，通过照射激光光束来修复缺陷的被称为“激 光修复(laser repair)”的技术已被公知。

例如，关于短路缺陷，通过对形成于FPD基板上的布线之间连接造 成的短路缺陷照射激光光束进行去除而修复，关于附着在FPD基板表面 上的微粒和抗蚀剂等成为动作不良的原因的异物，也是通过照射激光光 束进行去除而修复。即，短路缺陷和异物都是激光修复的对象。

在激光修复中，优选根据每个缺陷的类型和形状等适当地照射激光 光束。

例如，在修复金属图形的短路缺陷时，以比较高的输出照射适合于 去除金属的波长(例如1024nm)的激光光束。与此相对，在去除异物时， 照射适合于去除不是金属的微粒和抗蚀剂的更短波长(例如355nm)的 激光光束。另外，为了避免损伤除缺陷之外的图形部分，根据每个缺陷 的形状设定激光光束的照射范围。

另外，以往例如进行下述的修复，通过切断布线使像素无效，把像 素始终亮灯的亮灯缺陷修复为像素始终灭灯的非亮灯缺陷。但是，最近 开始要求把不良像素修复为良好状态这样的更高层次的修复。并且，在 各种修复工序中，修复比较复杂的是安装了透明电极的最后叠层(layer) 工序结束后的修复。

在最末层的下层有已形成的金属布线和TFT。并且，由于透明电极 是透明的，所以修复用的激光光束透射该透明电极，结果，激光光束到 达金属布线和TFT，有可能使得像素被破坏。因此，形成最末层后的修 复要求防止像素被破坏的技术，修复比较复杂。

在激光修复装置中，CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合器件) 摄像机拍摄作为被检查对象的FPD基板，并生成图像信息，图像处理部 根据图像信息生成表示缺陷的特征的缺陷特征信息，DMD(Digital Micromirror Device：数字微镜器件)根据缺陷特征信息对激光光束进行 整形，这种激光修复装置已被公知(例如参照专利文献1)。

另外，缺陷修复装置具有通过与参照图像进行比较来检测产生于 FPD基板的缺陷的缺陷检测部，该缺陷修复装置还可以具有以下各个部 分(例如参照专利文献2)。