[发明专利]激光加工机

权利要求书

1.一种激光加工机，其具有：XY工作台(2)，该XY工作台(2) 使供工件(30)载置的加工工作台(3)沿水平方向移动；

扫描器(9)；

fθ透镜(10)；以及

加压板(55)，该加压板(55)配置于上述fθ透镜(10)与上述加 工工作台(3)之间，且形成有中空部(56)，该中空部(56)的尺寸包 括上述工件(30)上的由上述fθ透镜(10)所决定的加工区域(57) 的尺寸，

由扫描器(9)扫描从激光振荡器(5)输出的激光(6)，并利用上 述fθ透镜(10)会聚上述激光，并使上述激光穿过上述加压板(55) 的中空部(56)，来加工被载置于上述加工工作台(3)上的上述工件(30) 的各加工区域，其特征在于，

具备控制装置(70)，在上述工件(30)上的加工区域内的加工结 束之后，在有下一个加工区域的情况下，上述控制装置(70)执行如下 加工动作直到下一个加工区域的加工结束为止：使上述加压板(55)上 升到待机位置，通过上述XY工作台(2)来使上述工件(30)上的下 一个加工区域的中心定位在上述fθ透镜(10)的主轴上，然后使上述 加压板(55)下降，来进行激光加工。

2.根据权利要求1所述的激光加工机，其特征在于，

具备测量部，该测量部测量：从上述fθ透镜的背面一侧焦点到上 述加压板的与上述工件抵接的头端部的距离，

在加工上述工件之前，在由上述测量部的测量得到的上述距离与预 定值不同的情况下，上述控制装置使上述fθ透镜沿主轴方向移动，以 使上述距离与预定值一致。