[发明专利]基板载置机构、基板处理装置和基板载置机构的控制方法

权利要求书

1.一种基板载置机构，其特征在于，包括：

载置被处理基板的载置台；

在所述载置台的内侧能够自由突出没入地被设置、且支承所述被 处理基板的外周边缘部的第一升降器；和

在所述载置台的外侧能够向所述载置台的载置面的上方移动地被 设置，与所述第一升降器支承所述被处理基板的位置相比、支承更靠 所述被处理基板的中央的部分的第二升降器，

在使所述被处理基板的背面部分地抵接在所述载置面上的状态 下，在所述第一升降器与所述第二升降器间进行所述被处理基板的交 接，

所述第二升降器在所述载置面的上方从搬送来所述被处理基板的 搬送机构接收所述被处理基板，使所述接收的被处理基板的背面部分 地抵接在所述载置面上，

在所述被处理基板的背面部分地抵接在所述载置面上的状态下， 所述第一升降器举起所述被处理地基板的外周边缘部，使所述被处理 基板从所述第二升降器分离，

在所述被处理基板已从所述第二升降器分离的状态下，使所述第 二升降器从所述载置台的上方退避，

在所述第二升降器已从所述载置面的上方退避的状态下，所述第 一升降器将所述被处理基板载置在所述载置面上。

2.如权利要求1所述的基板载置机构，其特征在于：

在所述被处理基板的背面部分地抵接在所述载置面上的状态下， 所述第一升降器举起所述被处理基板的外周边缘部，

在所述被处理基板的背面部分地抵接在所述载置面上，并且所述 被处理基板的外周边缘部被举起的状态下，使所述第二升降器移动至 所述载置面的上方，

在所述被处理基板的背面部分地抵接在所述载置面上的状态下， 所述第一升降器将所述被处理基板移载给所述第二升降器，

所述第二升降器举起所述被处理基板，使所述被处理基板从所述 载置面分离。

3.如权利要求1或2所述的基板载置机构，其特征在于：

所述第二升降器包括：

能够在垂直方向移动并且能够旋转的轴；和

安装在所述轴的前端部分，且能够在所述载置台的载置面的上方 旋转的旋转臂。

4.如权利要求1或2所述的基板载置机构，其特征在于：

所述第二升降器包括：

能够在垂直方向移动的轴；和

安装在所述轴的前端部分，能够在所述载置台的载置面的上方伸 缩的伸缩臂。

5.如权利要求1或2所述的基板载置机构，其特征在于：

所述第二升降器包括：

能够在垂直方向移动，并且能够旋转的轴；

安装在所述轴的前端部分，能够在所述载置台的载置面的上方旋 转的旋转臂；和

安装在所述旋转臂上，能够在所述载置台的载置面的上方伸缩的 伸缩臂。

6.如权利要求1或2所述的基板载置机构，其特征在于：

在所述第一升降器和第二升降器还设置有重量传感器。

7.如权利要求1或2所述的基板载置机构，其特征在于：

所述第二升降器具有多个能够在所述载置台的载置面的上方移动 的部件。

8.一种基板处理装置，其包括：

对被处理基板实施处理的腔室；和

设置在所述腔室的内部，载置所述被处理基板的基板载置机构，

该基板处理装置的特征在于，

所述基板载置机构中使用权利要求1至权利要求3中任一项所述 的基板载置机构。